| 摘要 | 第10-14页 |
| ABSTRACT | 第14-18页 |
| 第一章 绪论 | 第19-34页 |
| 1.1 若干新型薄膜材料的研究进展 | 第19-29页 |
| 1.1.1 La_(2-x)Ce_xCuO_4铜氧化物高温超导薄膜的研究现状 | 第19-25页 |
| 1.1.2 金属-绝缘体过渡金属氧化物薄膜体系Li-Ti-O的研究现状 | 第25-27页 |
| 1.1.3 TiAlON光谱选择吸收薄膜的研究现状 | 第27-29页 |
| 1.2 椭圆偏振测量术 | 第29-31页 |
| 1.2.1 椭圆偏振测量术的起源和发展现状 | 第29-30页 |
| 1.2.2 椭圆偏振测量术在薄膜性质表征中的应用 | 第30-31页 |
| 1.3 论文的立题基础、研究思路以及主要内容 | 第31-34页 |
| 1.3.1 论文立选题基础 | 第31页 |
| 1.3.2 论文的研究思路 | 第31-32页 |
| 1.3.3 论文的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第34-53页 |
| 2.1 薄膜的制备 | 第34-37页 |
| 2.1.1 反应磁控溅射的原理 | 第34-35页 |
| 2.1.2 脉冲激光沉积的原理 | 第35-37页 |
| 2.2 椭圆偏振光谱测量系统 | 第37-47页 |
| 2.2.1 光度式椭圆偏振仪的基本原理 | 第37-42页 |
| 2.2.2 椭偏数据的色散模型分析方法 | 第42-44页 |
| 2.2.3 椭偏数据的点对点分析方法 | 第44-47页 |
| 2.3 薄膜的表征 | 第47-52页 |
| 2.3.1 光谱表征 | 第47-49页 |
| 2.3.2 结构表征 | 第49-50页 |
| 2.3.3 形貌表征 | 第50页 |
| 2.3.4 成分分析 | 第50-51页 |
| 2.3.5 电学测试表征 | 第51页 |
| 2.3.6 力学性能表征 | 第51-52页 |
| 2.4 本章总结 | 第52-53页 |
| 第三章 LCCO铜氧化物高温超导薄膜正常态的光学性质研究 | 第53-80页 |
| 3.1 LCCO薄膜的制备 | 第54-57页 |
| 3.2 退火对LCCO薄膜的影响 | 第57-68页 |
| 3.2.1 LCCO薄膜XRD和AFM测试 | 第57-59页 |
| 3.2.2 LCCO薄膜纳米压痕测试 | 第59-60页 |
| 3.2.3 SrTiO_3基底的椭偏光谱分析 | 第60-61页 |
| 3.2.4 LCCO薄膜椭偏数据的点对点分析与色散模型初建 | 第61-66页 |
| 3.2.5 LCCO薄膜的厚度验证测试 | 第66-67页 |
| 3.2.6 本节小结 | 第67-68页 |
| 3.3 大尺寸LCCO薄膜的色散模型改进和带间跃迁分析 | 第68-79页 |
| 3.3.1 大尺寸LCCO薄膜XRD,AFM和SEM测试 | 第68-69页 |
| 3.3.2 大尺寸LCCO薄膜的XPS分析 | 第69-71页 |
| 3.3.3 大尺寸LCCO薄膜赝介电函数的色散模型优化 | 第71-74页 |
| 3.3.4 大尺寸LCCO薄膜赝介电函数的三阶导谱和电子跃迁机制分析 | 第74-79页 |
| 3.3.5 本节小结 | 第79页 |
| 3.4 本章总结 | 第79-80页 |
| 第四章 尖晶石结构Li_4Ti_5O_(12)和LiTi_2O_4薄膜的光学性质研究 | 第80-94页 |
| 4.1 Li_4Ti_5O_(12)和LiTi_2O_4薄膜的制备 | 第81-82页 |
| 4.2 Li_4Ti_5O_(12)和LiTi_2O_4薄膜XRD和AFM测试 | 第82-84页 |
| 4.3 Li_4Ti_5O_(12)和LiTi_2O_4薄膜的光学性质研究 | 第84-90页 |
| 4.3.1 MgAl_2O_4基底的椭偏光谱分析 | 第84-85页 |
| 4.3.2 Li_4Ti_5O_(12)和LiTi_2O_4薄膜的椭偏光谱分析 | 第85-90页 |
| 4.4 LiTi_2O_4材料的第一性原理计算结果分析 | 第90-93页 |
| 4.4.1 LiTi_2O_4材料的第一性原理计算模型和参数 | 第90页 |
| 4.4.2 LiTi_2O_4材料的能带结构和态密度 | 第90-92页 |
| 4.4.3 LiTi_2O_4和MgAl_2O_4的拉曼光谱分析 | 第92-93页 |
| 4.5 本章总结 | 第93-94页 |
| 第五章 TiAlON薄膜光学性质随厚度变化的椭偏研究 | 第94-104页 |
| 5.1 不同厚度的TiAlON薄膜的制备 | 第95-96页 |
| 5.2 TiAlON薄膜的表征 | 第96-98页 |
| 5.2.1 TiAlON薄膜的XRD和XPS分析 | 第96-97页 |
| 5.2.2 TiAlON薄膜SEM测试 | 第97-98页 |
| 5.2.3 TiAlON薄膜AFM测试 | 第98页 |
| 5.3 TiAlON薄膜的光学性质研究 | 第98-103页 |
| 5.3.1 TiAlON薄膜的椭偏光谱测试与分析 | 第98-102页 |
| 5.3.2 TiAlON薄膜的透射光谱分析 | 第102-103页 |
| 5.4 本章总结 | 第103-104页 |
| 第六章 全文总结 | 第104-108页 |
| 6.1 主要研究内容 | 第104-105页 |
| 6.2 主要创新点 | 第105-106页 |
| 6.3 展望与建议 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-121页 |
| 致谢 | 第121-123页 |
| 博士期间已发表和待发表的学术论文 | 第123-126页 |
| 附已发表外文论文两篇 | 第126-142页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第142页 |
