| 致谢 | 第9-10页 |
| 摘要 | 第10-12页 |
| Abstract | 第12-13页 |
| 1 绪论 | 第24-54页 |
| 1.1 课题来源和研究背景 | 第24-25页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第24页 |
| 1.1.2 研究背景 | 第24-25页 |
| 1.2 液晶显示器概述 | 第25-32页 |
| 1.2.1 液晶的概念 | 第25-27页 |
| 1.2.2 显示器的种类 | 第27页 |
| 1.2.3 液晶显示的模式 | 第27-28页 |
| 1.2.4 液晶显示器的发展历史和应用现状 | 第28-29页 |
| 1.2.5 TFT-LCD的基本结构 | 第29-30页 |
| 1.2.6 TFT-LCD的制程概述 | 第30-32页 |
| 1.3 TFT-LCD平板缺陷种类及其检测方法概述 | 第32-35页 |
| 1.3.1 TFT-LCD平板缺陷的种类 | 第32-34页 |
| 1.3.2 TFT-LCD平板缺陷检测方法 | 第34-35页 |
| 1.4 TFT基板表面缺陷自动光学检测算法研究现状 | 第35-51页 |
| 1.4.1 TFT基板结构及其表面缺陷检测算法 | 第35-39页 |
| 1.4.2 奇异值分解（SVD）算法 | 第39-42页 |
| 1.4.3 独立成分分析（ICA）算法 | 第42-47页 |
| 1.4.4 鲁棒主成分分析（RPCA）算法 | 第47-50页 |
| 1.4.5 基于一维DFT的TFT基板表面缺陷自动光学检测算法 | 第50-51页 |
| 1.5 课题研究的目的、意义和内容 | 第51-54页 |
| 1.5.1 课题研究的目的和意义 | 第51-52页 |
| 1.5.2 课题研究的主要内容 | 第52-54页 |
| 2 TFT基板表面缺陷一维DFT检测算法原理 | 第54-72页 |
| 2.1 引言 | 第54页 |
| 2.2 自动光学检测的原理 | 第54-61页 |
| 2.2.1 照明分析 | 第54-57页 |
| 2.2.2 相机、镜头和图像采集卡 | 第57-60页 |
| 2.2.3 电气运动控制 | 第60-61页 |
| 2.2.4 图像处理算法 | 第61页 |
| 2.3 TFT基板表面缺陷自动光学检测实验系统的构建 | 第61-63页 |
| 2.3.1 TFT基板表面缺陷自动光学检测实验系统总体结构 | 第61-62页 |
| 2.3.2 图像纵向方向上的精度确定 | 第62-63页 |
| 2.4 基于一维DFT的TFT基板表面缺陷自动光学检测算法原理 | 第63-71页 |
| 2.4.1 一维TFT基板表面行图像的特点 | 第63-64页 |
| 2.4.2 一维离散傅立叶变换（1D DFT） | 第64页 |
| 2.4.3 参数 △x和 △u之间的关系 | 第64-65页 |
| 2.4.4 TFT基板表面背景纹理的消除 | 第65-66页 |
| 2.4.5 移除高频分量 | 第66-67页 |
| 2.4.6 消除截断效应的影响 | 第67-68页 |
| 2.4.7 一维Haar小波变换消除TFT基板表面光照不均匀 | 第68-69页 |
| 2.4.8 TFT基板表面的缺陷的分割 | 第69-70页 |
| 2.4.9 存在的一些问题 | 第70-71页 |
| 2.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 3 一维DFT缺陷检测算法中截断效应的改善 | 第72-97页 |
| 3.1 引言 | 第72页 |
| 3.2 截断效应的概念 | 第72-77页 |
| 3.2.1 离散周期信号无频谱泄漏的条件 | 第73-75页 |
| 3.2.2 频谱泄漏程度和采样截断长度的关系 | 第75-77页 |
| 3.3 简单离散周期信号频谱分析中的频谱泄漏 | 第77-82页 |
| 3.3.1 简单离散周期信号的频谱 | 第77页 |
| 3.3.2 不同长度非整周期截断时的简单离散周期信号的频谱泄漏 | 第77-82页 |
| 3.4 理想TFT基板线扫描图像频谱分析中的频谱泄漏 | 第82-89页 |
| 3.4.1 理想TFT基板线扫描图像的频谱 | 第82-83页 |
| 3.4.2 不同长度非整周期截断时的理想TFT基板线扫描图像的频谱泄漏 | 第83-89页 |
| 3.5 实际TFT基板线扫描图像频谱分析中的频谱泄漏 | 第89-93页 |
| 3.5.1 实际TFT基板线扫描图像的频谱 | 第89页 |
| 3.5.2 不同长度截断时的实际TFT基板线扫描图像的频谱泄漏 | 第89-93页 |
| 3.6 一维DFT算法中截断效应改善的方法 | 第93-96页 |
| 3.6.1 补成整周期法 | 第93-94页 |
| 3.6.2 扩展补整法 | 第94-96页 |
| 3.7 本章小结 | 第96-97页 |
| 4 检测算法中的参数自动选取 | 第97-123页 |
| 4.1 引言 | 第97页 |
| 4.2 周期 △x的自动选取 | 第97-110页 |
| 4.2.1 一维行图像中的周期 △x | 第97页 |
| 4.2.2 自动获取图像的近似周期 △x | 第97-100页 |
| 4.2.3 影响周期 △x获取的因素 | 第100-110页 |
| 4.2.4 自动获取的周期 △x用于实际缺陷的检测 | 第110页 |
| 4.3 邻域r的自动选取 | 第110-122页 |
| 4.3.1 一维行图像频域中的领域r | 第110-111页 |
| 4.3.2 自动选取领域r的灰度共生矩阵法 | 第111-115页 |
| 4.3.3 影响邻域r的因素 | 第115-120页 |
| 4.3.4 灰度共生矩阵法的验证 | 第120-121页 |
| 4.3.5 自动获取的邻域r用于实际缺陷的检测 | 第121-122页 |
| 4.4 本章小结 | 第122-123页 |
| 5 光照不均匀校正 | 第123-149页 |
| 5.1 引言 | 第123页 |
| 5.2 光照不均匀校正算法概述 | 第123-124页 |
| 5.3 一维Haar小波变换法 | 第124-128页 |
| 5.3.1 一维Haar小波概述 | 第124-125页 |
| 5.3.2 一维Haar小波变换法不足之一：不能检测缺陷内部 | 第125-126页 |
| 5.3.3 一维Haar小波变换法不足之二：不能分辨亮缺陷和暗缺陷 | 第126-128页 |
| 5.4 二次曲线拟合法 | 第128-131页 |
| 5.4.1 二次曲线拟合概述 | 第128-129页 |
| 5.4.2 二次曲线拟合一次法 | 第129-130页 |
| 5.4.3 二次曲线拟合两次法 | 第130-131页 |
| 5.5 平滑滤波法 | 第131-134页 |
| 5.6 平滑拟合法 | 第134-138页 |
| 5.6.1 平滑拟合法基本原理 | 第134页 |
| 5.6.2 平滑拟合法进行缺陷形状检测 | 第134-136页 |
| 5.6.3 平滑拟合法进行亮缺陷和暗缺陷检测 | 第136-138页 |
| 5.7 平滑分段拟合法 | 第138-148页 |
| 5.7.1 平滑分段拟合法基本原理 | 第138页 |
| 5.7.2 平滑分段拟合法步骤 | 第138-142页 |
| 5.7.3 分段平滑拟合法实验结果 | 第142-148页 |
| 5.8 本章小结 | 第148-149页 |
| 6 检测算法效果比对实验 | 第149-157页 |
| 6.1 引言 | 第149页 |
| 6.2 表面缺陷检测算法优劣的判定依据 | 第149-150页 |
| 6.3 五种TFT基板表面缺陷自动光学检测算法的检测结果对比 | 第150-154页 |
| 6.4 旋转对五种TFT基板表面缺陷自动光学检测算法的影响 | 第154-156页 |
| 6.5 五种TFT基板表面缺陷检测算法的检测时间对比 | 第156页 |
| 6.6 本章小结 | 第156-157页 |
| 7 总结与展望 | 第157-159页 |
| 7.1 总结 | 第157-158页 |
| 7.2 展望 | 第158-159页 |
| 参考文献 | 第159-168页 |
| 攻读博士学位期间的学术活动及成果情况 | 第168页 |
