高精度小平面干涉检测技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·国内外的干涉检测技术的研究现状和发展趋势 | 第10-13页 |
| ·本文研究的主要内容及组织结构 | 第13-15页 |
| 2 菲索干涉检测技术的原理与方案 | 第15-24页 |
| ·菲索式干涉仪的基本原理 | 第15-22页 |
| ·移相技术及其优缺点 | 第16-18页 |
| ·影响干涉检测精度的关键技术 | 第18-22页 |
| ·高精度检测技术流程 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 干涉图的高精度处理及仿真 | 第24-46页 |
| ·常见的相位提取算法 | 第24-27页 |
| ·相移算法 | 第24-26页 |
| ·傅里叶变换算法 | 第26-27页 |
| ·虚拟数字相移的高精度相位提取技术 | 第27-31页 |
| ·莫尔条纹 | 第27-29页 |
| ·虚拟数字相移算法 | 第29-30页 |
| ·滤波提频的关键技术 | 第30-31页 |
| ·泽尼克波面拟合算法 | 第31-34页 |
| ·Zernike波面拟合的基本原理 | 第31-32页 |
| ·Zernike多项式项数的选取 | 第32-34页 |
| ·Zernike多项式用于波面重建算法的优点 | 第34页 |
| ·常见算法的仿真结果及对比分析 | 第34-45页 |
| ·仿真实验流程 | 第34-35页 |
| ·相位提取仿真及对比分析 | 第35-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 高精度虚拟数字相移检测实验及结果分析 | 第46-54页 |
| ·虚拟数字相移干涉的实验 | 第46-47页 |
| ·数字相移干涉实验结果及分析 | 第47-51页 |
| ·干涉波前对干涉结果影响的仿真实验及分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 5 影响干涉检测精度的误差分析 | 第54-62页 |
| ·干涉检测系统误差分析 | 第54-55页 |
| ·滤波提频误差的影响 | 第55-61页 |
| ·滤波窗口的大小对检测精度的影响 | 第55-59页 |
| ·滤波窗口的形状对检测精度的影响 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 结论与展望 | 第62-64页 |
| ·结论 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
