TiCN、TiN/TiCN薄膜的微观结构及耐蚀性能研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| ·研究背景与意义 | 第11-12页 |
| ·PVD制备薄膜技术 | 第12-15页 |
| ·真空蒸镀法 | 第12-13页 |
| ·溅射镀膜 | 第13-14页 |
| ·离子镀膜 | 第14页 |
| ·复合离子镀技术 | 第14-15页 |
| ·TiN系列薄膜的研究现状及应用 | 第15-17页 |
| ·TiN薄膜 | 第15页 |
| ·TiN薄膜的合金化 | 第15-16页 |
| ·TiN系列多层膜 | 第16页 |
| ·TiN系梯度膜 | 第16-17页 |
| ·电化学技术在材料腐蚀中的应用 | 第17-21页 |
| ·极化曲线法 | 第17-18页 |
| ·交流阻抗谱法 | 第18-20页 |
| ·电化学噪声法 | 第20页 |
| ·Kelvin探针技术 | 第20-21页 |
| ·本课题研究内容 | 第21-22页 |
| ·研究实验流程图 | 第22-23页 |
| 2 TiCN、TiN/TiCN薄膜的制备与表征 | 第23-28页 |
| ·薄膜的制备 | 第23-26页 |
| ·实验材料 | 第23页 |
| ·镀膜设备及原理 | 第23-25页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第25-26页 |
| ·微观结构表征 | 第26页 |
| ·微观形貌 | 第26页 |
| ·相结构 | 第26页 |
| ·薄膜成分 | 第26页 |
| ·表面粗糙度 | 第26页 |
| ·性能研究 | 第26-28页 |
| ·硬度 | 第26-27页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第27页 |
| ·耐蚀性能 | 第27-28页 |
| 3 TiCN薄膜的微观结构及性能研究 | 第28-49页 |
| ·微观结构分析 | 第28-32页 |
| ·表面形貌及粗糙度 | 第28-30页 |
| ·相结构 | 第30-31页 |
| ·表面成分 | 第31-32页 |
| ·微硬度及摩擦磨损性能 | 第32-34页 |
| ·微硬度 | 第32-33页 |
| ·摩擦系数及磨损量 | 第33-34页 |
| ·在3.5%NaCl溶液中的耐蚀性 | 第34-36页 |
| ·塔菲尔极化曲线 | 第34-35页 |
| ·腐蚀形貌 | 第35-36页 |
| ·在1mol/L H_2SO_4溶液中的耐蚀性 | 第36-42页 |
| ·动电位极化曲线 | 第36-38页 |
| ·动电位极化前后的EIS | 第38-41页 |
| ·腐蚀形貌 | 第41-42页 |
| ·在0.5mol/L NaOH溶液中的耐蚀性 | 第42-47页 |
| ·动电位极化曲线 | 第42-43页 |
| ·动电位极化前后的EIS | 第43-46页 |
| ·腐蚀形貌 | 第46-47页 |
| ·本章小节 | 第47-49页 |
| 4 TiN/TiCN多层膜的微观结构及性能研究 | 第49-67页 |
| ·微观结构分析 | 第49-51页 |
| ·表面形貌及粗糙度 | 第49-51页 |
| ·相结构 | 第51页 |
| ·微硬度及摩擦磨损性能 | 第51-53页 |
| ·显微硬度 | 第51-53页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第53页 |
| ·在3.5%NaCl溶液中的耐蚀性 | 第53-56页 |
| ·塔菲尔极化曲线 | 第53-55页 |
| ·腐蚀形貌 | 第55-56页 |
| ·在1mol/L H_2SO_4溶液中的耐蚀性 | 第56-61页 |
| ·动电位极化曲线 | 第56-57页 |
| ·动电位极化前后的EIS | 第57-59页 |
| ·腐蚀形貌 | 第59-61页 |
| ·在0.5mol/L NaOH溶液中的耐蚀性 | 第61-66页 |
| ·动电位极化曲线 | 第61-62页 |
| ·动电位极化前后的EIS | 第62-64页 |
| ·腐蚀形貌 | 第64-66页 |
| ·本章小节 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 作者简介 | 第73-75页 |
| 学位论文数据集 | 第75页 |
