| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-18页 |
| ·引言 | 第6页 |
| ·物理气相沉积技术 | 第6-10页 |
| ·多弧离子镀 | 第7-8页 |
| ·空心阴极离子镀 | 第8-9页 |
| ·离子束辅助沉积技术 | 第9-10页 |
| ·(Ti,Al)N涂层的特点及应用 | 第10-15页 |
| ·Ti-Al-N系稳定三元物相 | 第10-12页 |
| ·AlTi_3N/Ti_3AlN | 第11页 |
| ·Ti_2AlN/Ti_4AlN_3 | 第11-12页 |
| ·TiN-AlN系物相 | 第12-14页 |
| ·(Ti,Al)N涂层的应用 | 第14-15页 |
| ·(Ti,Al)N涂层主要问题 | 第15-16页 |
| ·涂层物相和性能的问题 | 第15页 |
| ·PVD涂层中的大颗粒污染问题 | 第15-16页 |
| ·选题意义、主要研究内容及研究路线 | 第16-18页 |
| ·选题意义 | 第16页 |
| ·研究内容及路线 | 第16-18页 |
| 第二章 (Ti,Al)N涂层的制备与表征 | 第18-24页 |
| ·涂层实验设备 | 第18-19页 |
| ·(Ti,Al)N涂层制备 | 第19-21页 |
| ·涂层制备原理 | 第19页 |
| ·基体选择及前处理 | 第19页 |
| ·涂层制备工艺 | 第19-20页 |
| ·涂层热处理工艺 | 第20-21页 |
| ·(Ti,Al)N涂层表征 | 第21-22页 |
| ·XRD物相检测 | 第21页 |
| ·涂层微观形貌检测 | 第21页 |
| ·涂层硬度测定 | 第21-22页 |
| ·涂层与基体结合力测定 | 第22页 |
| ·涂层摩擦性能测定 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 (Ti,Al)N涂层中相组成分析 | 第24-29页 |
| ·Ti-Al-N系物相热力学及力学特性分析 | 第24-27页 |
| ·涂层物相组成分析 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 (Ti,Al)N涂层力学性能、表面形貌及耐热性的分析研究 | 第29-45页 |
| ·工艺条件对(Ti,Al)N涂层性能的影响 | 第29-40页 |
| ·靶材比例对(Ti,Al)N涂层性能的影响 | 第29-35页 |
| ·涂层硬度分析 | 第29-30页 |
| ·涂层表面粗糙度与摩擦系数 | 第30-33页 |
| ·涂层结合力分析 | 第33-35页 |
| ·空心阴极对(Ti,Al)N涂层的影响 | 第35-40页 |
| ·对物相组成的影响 | 第35-37页 |
| ·空心阴极对表面形貌及摩擦性能的影响 | 第37-39页 |
| ·空心阴极对结合力的影响 | 第39-40页 |
| ·涂层的耐高温性能 | 第40-43页 |
| ·涂层表面形貌分析 | 第40-41页 |
| ·物相分析 | 第41-42页 |
| ·涂层硬度分析 | 第42页 |
| ·涂层耐高温性能分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 结论 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-52页 |
| 作者简介 | 第52页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第52-53页 |