| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·MEMS 电容器研究现状 | 第10-13页 |
| ·MEMS 电容器的分类 | 第13-16页 |
| ·论文的选题依据和主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 MEMS 电容器基本存储理论及制造关键技术 | 第17-25页 |
| ·MEMS 电容器电荷存储理论模型研究 | 第17-19页 |
| ·MEMS 发火电容器主要制备关键技术 | 第19-24页 |
| ·光刻技术 | 第19-20页 |
| ·溅射技术 | 第20-22页 |
| ·深反应离子刻蚀技术（DRIE) | 第22-23页 |
| ·原子层沉积技术 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 MEMS 电容器高深宽比结构设计与实现 | 第25-38页 |
| ·高过载 MEMS 发火电容器整体设计方案 | 第25-27页 |
| ·高深宽比深槽结构仿真与分析 | 第27-31页 |
| ·ANASYS 有限元仿真分析 | 第27-29页 |
| ·SILVACO 制造工艺仿真分析 | 第29-31页 |
| ·高深宽比深槽结构制造与分析 | 第31-37页 |
| ·高深宽比深槽结构制造 | 第31-35页 |
| ·高深宽比深槽结构侧壁垂直度与形貌粗糙度分析 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 MEMS 电容器制造与电学特性研究 | 第38-48页 |
| ·MEMS MIM 电容器制造与电学特性研究 | 第38-42页 |
| ·MEMS 电容器电介质与电极材料研究 | 第38-40页 |
| ·MEMS MIM 电容器制造 | 第40-41页 |
| ·MEMS MIM 电容器测试及表征 | 第41-42页 |
| ·MEMS MOS 电容器制造与电学特性研究 | 第42-47页 |
| ·MEMS MOS 电容器制造 | 第42页 |
| ·MEMS MOS 电容器测试及表征 | 第42-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 MEMS 电容引信发火电路实现与测试 | 第48-60页 |
| ·MEMS 引信电发火电路设计与实现 | 第48-51页 |
| ·MEMS 引信电发火电路设计 | 第48-50页 |
| ·MEMS 引信发火电路实现 | 第50-51页 |
| ·MEMS 引信发火电路测试 | 第51-58页 |
| ·MEMS 引信发火电路静态发火测试 | 第51-52页 |
| ·MEMS 引信电发火电路原理样机抗冲击过载测试 | 第52-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-63页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·论文的主要创新点 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |