| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-20页 |
| ·半导体核探测器发展及研究现状 | 第12-14页 |
| ·半导体探测器应用前景 | 第14-17页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的研究现状及意义 | 第17-18页 |
| ·本文主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 半导体探测器基础 | 第20-34页 |
| ·导体、半导体和绝缘体的能带 | 第20-21页 |
| ·电荷载流子及在电场中的迁移 | 第21-22页 |
| ·半导体掺杂 | 第22页 |
| ·形成探测器基本结构及 P-N 结偏压特征 | 第22-34页 |
| 第三章 硅微条探测器的结构和工作原理 | 第34-42页 |
| ·DC 耦合硅微条探测器结构 | 第35-38页 |
| ·单面读出 DC 耦合硅微条探测器 | 第35-36页 |
| ·双面读出 DC 耦合硅微条探测器： | 第36-38页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器结构 | 第38-39页 |
| ·硅微条探测器的工作原理 | 第39-42页 |
| 第四章 AC 耦合硅微条探测器工艺设计与模拟以及掩膜版版图设计 | 第42-76页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的结构设计 | 第42-49页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的多晶硅电阻设计及相关参数计算 | 第44-47页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器耦合电容设计及相关参数计算 | 第47-49页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的工艺流程及工艺模拟 | 第49-70页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的工艺流程 | 第49-66页 |
| ·清洗 | 第51-52页 |
| ·氧化 | 第52-55页 |
| ·光刻和刻蚀： | 第55-57页 |
| ·离子注入 | 第57-61页 |
| ·退火 | 第61页 |
| ·金属化电极： | 第61-62页 |
| ·切片、绑定 | 第62-66页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的工艺模拟 | 第66-70页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器掩膜版版图设计 | 第70-76页 |
| 第五章 硅探测器非电离能损计算与工作寿命预期 | 第76-88页 |
| ·硅探测器非电离能量损失的 SRIM 计算 | 第77-82页 |
| ·SRIM 计算非电离能量损失的思想 | 第77-78页 |
| ·SRIM 计算非电离能量损失方法 | 第78-82页 |
| ·缺中子核入射硅探测器的非电离能量损失计算 | 第82-86页 |
| ·硅探测器的寿命预期 | 第86-88页 |
| 第六章 AC 耦合硅微条探测器性能测试 | 第88-100页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的引出板设计 | 第88-91页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的漏电流测试 | 第91-93页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的全耗尽电压测试 | 第93-96页 |
| ·C-V 特性法 | 第93-95页 |
| ·能谱法 | 第95-96页 |
| ·AC 耦合硅微条探测器的能谱测试 | 第96-100页 |
| ·探测器测试系统搭建 | 第96-97页 |
| ·α放射源 对 AC 耦合硅微条探测器能量分辨测试 | 第97-100页 |
| 第七章 总结与展望 | 第100-102页 |
| ·总结 | 第100-101页 |
| ·展望 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-110页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果发表文章 | 第110页 |
