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MgZnO异质结紫外光电探测器件的制备与内增益特性研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-11页
第1章 引言第11-27页
   ·紫外辐射与紫外探测简介第11-15页
   ·宽带隙半导体紫外光电探测器第15-16页
   ·MgZnO 材料的特点及其紫外光电探测器的研究进展第16-23页
   ·论文的选题依据及研究内容第23-27页
第2章 半导体紫外光电探测器件与物理第27-53页
   ·半导体紫外光电探测器的一般性理论第27-31页
   ·光电导探测器第31-39页
   ·p-n 结型光电探测器第39-46页
   ·肖特基结二极管第46-51页
   ·本章小结第51-53页
第3章 MgZnO 材料制备和表征方法及紫外探测器的制备和测试系统第53-73页
   ·MgZnO 薄膜的外延生长方法第53-59页
   ·MgZnO 薄膜的表征手段第59-66页
   ·MgZnO 基紫外光电探测器制备工艺第66-68页
   ·MgZnO 基探测器光电性能测试系统第68-71页
   ·本章小结第71-73页
第4章 MgZnO 薄膜 Ga 掺杂及肖特基型紫外光电探测器的制备与特性第73-93页
   ·立方 MgZnO 薄膜 Ga 掺杂的制备及表征第75-81页
   ·MgZnO 基肖特基结型紫外探测器的实现第81-91页
   ·本章小结第91-93页
第5章 基于MgZnO/p-Si异质结光伏型紫外光电探测器的制备与特性第93-101页
   ·Si (111) 衬底上立方 MgZnO 薄膜的制备与表征第93-96页
   ·MgZnO/p-Si 异质结紫外光电探测器第96-100页
   ·本章小结第100-101页
第6章 梯度带隙 MgZnO/p-Si 异质结紫外光电探测器的制备与特性第101-117页
   ·梯度带隙 MgZnO 的制备及表征第102-108页
   ·梯度带隙 MgZnO/p-Si 异质结紫外探测器第108-115页
   ·本章小结第115-117页
第7章 结论与展望第117-119页
   ·全文总结第117-118页
   ·研究展望第118-119页
参考文献第119-129页
在学期间学术成果情况第129-131页
指导教师及作者简介第131-133页
致谢第133-134页

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