| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·研究背景 | 第12页 |
| ·薄膜沉积技术 | 第12-14页 |
| ·薄膜沉积技术概述 | 第12-13页 |
| ·PVD 薄膜沉积技术特点与分类 | 第13-14页 |
| ·TaN 薄膜的研究进展 | 第14-15页 |
| ·TaN 薄膜的特点及制备 | 第14-15页 |
| ·TaN 薄膜的摩擦学特性 | 第15页 |
| ·DLC 薄膜的研究进展 | 第15-19页 |
| ·DLC 薄膜的特点及研究进展 | 第15-16页 |
| ·Ta-DLC 薄膜研究进展 | 第16-17页 |
| ·Cr-DLC 薄膜研究进展 | 第17-19页 |
| ·本文的研究意义及主要工作 | 第19-21页 |
| ·本文的研究意义 | 第19页 |
| ·本文的主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 试验方法 | 第21-30页 |
| ·试验方案 | 第21页 |
| ·试验材料 | 第21-23页 |
| ·薄膜制备试样及靶材 | 第21-22页 |
| ·摩擦试验对摩材料 | 第22页 |
| ·人工海水配制 | 第22-23页 |
| ·薄膜的制备 | 第23页 |
| ·TaN 和 Ta-DLC 薄膜的制备 | 第23页 |
| ·Cr-DLC 薄膜的制备 | 第23页 |
| ·薄膜摩擦磨损试验 | 第23-25页 |
| ·薄膜耐腐蚀性能测试 | 第25页 |
| ·相关仪器设备 | 第25-28页 |
| ·金相显微镜 | 第26页 |
| ·数显显微硬度计 | 第26页 |
| ·划痕试验仪 | 第26-27页 |
| ·X-射线衍射仪 | 第27页 |
| ·三维形貌仪 | 第27-28页 |
| ·摩擦试验数据处理 | 第28-29页 |
| ·球试样磨损率计算方法 | 第28页 |
| ·盘试样磨损率计算方法 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 TaN 薄膜制备 | 第30-41页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·TaN 薄膜表面形貌 | 第30页 |
| ·TaN 薄膜制备试验方案 | 第30-32页 |
| ·TaN 薄膜性能表征 | 第32-38页 |
| ·薄膜表面粗糙度表征 | 第32-34页 |
| ·薄膜维氏硬度和膜基结合力表征 | 第34-38页 |
| ·TaN 薄膜摩擦学性能研究 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 Ta-DLC 薄膜摩擦学特性 | 第41-50页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·Ta-DLC 薄膜表征 | 第41-42页 |
| ·不同载荷下 Ta-DLC 薄膜的摩擦学特性研究 | 第42-48页 |
| ·不同载荷下 Ta-DLC 薄膜的摩擦行为 | 第42-44页 |
| ·不同载荷下 Ta-DLC 薄膜的磨损率 | 第44-45页 |
| ·Ta-DLC 薄膜及 Si_3N_4小球磨痕分析 | 第45-48页 |
| ·分析和讨论 | 第48页 |
| ·本章总结 | 第48-50页 |
| 第五章 Cr-DLC 薄膜海水润滑摩擦学与耐腐蚀特性 | 第50-57页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·Cr-DLC 薄膜表面形貌 | 第50页 |
| ·不同盐度环境下 Cr-DLC 薄膜的海水润滑特性研究 | 第50-53页 |
| ·不同盐度环境下 Cr-DLC 薄膜的海水润滑摩擦行为 | 第50-51页 |
| ·Cr-DLC 薄膜及 Si_3N_4小球的磨损率 | 第51-52页 |
| ·Cr-DLC 薄膜及 Si_3N_4小球磨痕分析 | 第52-53页 |
| ·分析与讨论 | 第53页 |
| ·不同盐度环境下 Cr-DLC 薄膜的电化学特性研究 | 第53-56页 |
| ·Cr-DLC 薄膜电化学极化曲线与阻抗图谱分析 | 第53-55页 |
| ·Cr-DLC 薄膜腐蚀等效电路分析 | 第55-56页 |
| ·本章总结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·本文工作总结 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第64页 |
