超高真空器件精密清洗处理和放气分析研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| ·概述 | 第8-10页 |
| ·国内外在本领域中的研究现状 | 第10-20页 |
| ·论文的主要工作 | 第20-21页 |
| ·课题研究意义 | 第21-22页 |
| 2 可伐合金清洗研究 | 第22-29页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·酸洗研究 | 第22-23页 |
| ·可伐电解清洗研究和实验 | 第23-24页 |
| ·可伐合金等离子清洗研究 | 第24-27页 |
| ·小结 | 第27-29页 |
| 3 陶瓷清洗研究 | 第29-34页 |
| ·机械磨抛 | 第29页 |
| ·喷砂清洗 | 第29页 |
| ·酸蚀清洗 | 第29-30页 |
| ·陶瓷等离子清洗研究 | 第30-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4 焊料超声波清洗研究 | 第34-38页 |
| ·焊料超声波清洗的机理分析研究 | 第34-36页 |
| ·焊料超声波清洗工艺分析 | 第36-38页 |
| 5 不锈钢清洗研究 | 第38-44页 |
| ·实验 | 第38页 |
| ·实验结果及分析 | 第38-42页 |
| ·超声波清洗 | 第38-39页 |
| ·液体喷砂 | 第39页 |
| ·机械抛光 | 第39-40页 |
| ·酸洗净化 | 第40-41页 |
| ·电解抛光 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 6 微通道板(MCP)电子束清洗研究 | 第44-48页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·电子束清洗的物理过程及分析 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 7 超高真空器件材料放气分析与研究 | 第48-62页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·材料放气理论研究概况 | 第48-49页 |
| ·国内外材料放气特性研究概况 | 第49页 |
| ·XPS对可伐金属表面的测量与分析 | 第49-54页 |
| ·实验材料及方法 | 第49-50页 |
| ·测量结果及讨论 | 第50-54页 |
| ·陶瓷材料内部溶解气体放气分析 | 第54-56页 |
| ·真空热清洗除气分析研究 | 第56-60页 |
| ·模型的建立和计算 | 第57-58页 |
| ·真空热清洗对材料表面除气分析 | 第58-59页 |
| ·真空热清洗对可伐材料表面吸附气体的热脱附分析 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 8 结论及展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
