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脉冲激光沉积制备氧化物薄膜及其光电性质的研究

中文摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-34页
   ·引言第10-11页
   ·钙钛矿型锰氧化物的基本性质第11-14页
     ·钙钛矿结构的晶体构型第11-12页
     ·具有钙钛矿结构的锰氧化物第12-13页
     ·钙钛矿型锰氧化物的性质及应用第13-14页
   ·氧化锌的基本性质第14-19页
     ·氧化锌的晶体结构第15-16页
     ·氧化锌的化学性质第16页
     ·氧化锌的机械性质第16-17页
     ·氧化锌的电学性质第17页
     ·氧化锌的光学性质第17-18页
     ·氧化锌薄膜的主要应用第18-19页
   ·锰氧化物异质结构第19-23页
     ·锰氧化物外延异质结第19-20页
     ·锰氧化物多晶异质结第20-21页
     ·锰氧化物异质结的光电特性第21-23页
   ·脉冲激光沉积第23-28页
     ·脉冲激光沉积的基本原理第23-25页
     ·实验设备第25-26页
     ·脉冲激光沉积的优缺点第26-28页
   ·本论文的选题目的、意义及主要实验结果第28-29页
 参考文献第29-34页
第二章 激光脉冲沉积制备氧化物薄膜第34-47页
   ·钙钛矿型锰氧化物薄膜第34-38页
     ·LCKMO 靶材的制备第34-35页
     ·LCKMO 薄膜生长第35-36页
     ·LCKMO 薄膜的表征第36-38页
   ·钌酸锶薄膜第38-42页
     ·SrRuO_3靶材的制备第38-40页
     ·SrRuO_3薄膜生长第40页
     ·SrRuO_3薄膜的形貌和晶体结构测试第40-41页
     ·SrRuO_3薄膜作为导电电极的应用第41-42页
   ·氧化锌薄膜第42-44页
     ·氧化锌薄膜生长第42-43页
     ·沉积温度对薄膜表面形貌的影响第43-44页
   ·本章小结第44页
 参考文献第44-47页
第三章 LCKMO/ZnO 异质结器件及其光电性质研究第47-61页
   ·LCKMO/ZnO 异质结器件的制备第47-51页
     ·ITO 导电薄膜的处理第47-48页
     ·LCKMO/ZnO 异质结薄膜生长第48-49页
     ·电极制作第49-51页
   ·LCKMO/ZnO 异质结的表征第51-54页
     ·LCKMO/ZnO 异质结的结构分析第51-52页
     ·LCKMO/ZnO 异质结的形貌分析第52-54页
   ·LCKMO/ZnO 异质结的光电特性第54-59页
     ·光电特性的测试第54-56页
     ·厚度对光电特性的影响第56-58页
     ·光电特性的理论模拟第58-59页
   ·本章小结第59页
 参考文献第59-61页
第四章 氧化锌中空纳米小球阵列第61-69页
   ·单层聚苯乙烯阵列模板第61-63页
   ·中空小球的制备第63-65页
   ·三维小球临界厚度摸索第65-66页
   ·本章小结第66-67页
 参考文献第67-69页
第五章 结论与展望第69-70页
作者简介及攻读硕士学位期间发表论文第70-71页
致谢第71页

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