| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·稀土材料的发展历程 | 第10-12页 |
| ·稀土金属的概述 | 第10-11页 |
| ·稀土金属的应用与分布 | 第11页 |
| ·稀土生产与分离 | 第11-12页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料简介 | 第12-16页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的发展历程 | 第12-14页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的制备方法 | 第14-15页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的应用 | 第15-16页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的基本性质 | 第16-21页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的晶格结构 | 第16-17页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的相图 | 第17-19页 |
| ·NdFeB稀土永磁材料的磁各向异性 | 第19-21页 |
| ·研究目的和研究内容 | 第21-23页 |
| ·研究目的 | 第21页 |
| ·研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 NdFeB稀土永磁薄膜制备及测试方法 | 第23-33页 |
| ·实验材料 | 第23页 |
| ·实验设备 | 第23-27页 |
| ·磁控溅射设备简介 | 第23-24页 |
| ·磁控溅射工作原理 | 第24-26页 |
| ·磁控溅射的特点 | 第26页 |
| ·真空热处理设备 | 第26-27页 |
| ·分析测试技术 | 第27-31页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第27-28页 |
| ·X射线衍射仪 | 第28-29页 |
| ·原子力显微镜 | 第29-30页 |
| ·振动样品磁强仪 | 第30-31页 |
| ·实验过程 | 第31-33页 |
| ·基片的准备 | 第31-32页 |
| ·实验的工艺流程 | 第32-33页 |
| 第三章 工艺参数对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响 | 第33-49页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·溅射功率对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响 | 第34-38页 |
| ·溅射功率对沉积速率的影响 | 第34-35页 |
| ·溅射功率对NdFeB薄膜形貌的影响 | 第35-37页 |
| ·溅射功率对NdFeB薄膜物相的影响 | 第37-38页 |
| ·溅射时间对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响 | 第38-41页 |
| ·溅射时间对NdFeB薄膜厚度的影响 | 第38-39页 |
| ·溅射时间对NdFeB薄膜成分分布的影响 | 第39-40页 |
| ·溅射时间对NdFeB薄膜磁性能的影响 | 第40-41页 |
| ·溅射气压对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响 | 第41-44页 |
| ·溅射气压对沉积速率的影响 | 第42页 |
| ·溅射气压对NdFeB薄膜形貌的影响 | 第42-44页 |
| ·热处理工艺对NdFeB稀土永磁薄膜性能的影响 | 第44-45页 |
| ·退热处理对NdFeB薄膜形貌的影响 | 第44页 |
| ·热处理温度对NdFeB薄膜磁性能的影响 | 第44-45页 |
| ·衬底加温对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响 | 第45-47页 |
| ·衬底加温的工作原理 | 第45-46页 |
| ·衬底加温对NdFeB薄膜形貌的影响 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 Mo，Sm 的引入对NdFeB稀土永磁薄膜性能的影响 | 第49-65页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·溅射参数优化 | 第50-54页 |
| ·溅射参数优化的目的 | 第50页 |
| ·溅射镀膜的具体流程 | 第50-52页 |
| ·溅射参数实验方案 | 第52-54页 |
| ·添加Mo作缓冲层对NdFeB薄膜性能的影响 | 第54-57页 |
| ·Mo作缓冲层对NdFeB薄膜形貌的影响 | 第54-55页 |
| ·Mo作缓冲层对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第55-56页 |
| ·Mo作缓冲层对NdFeB薄膜磁性能的影响 | 第56-57页 |
| ·Sm的引入对NdFeB稀土永磁薄膜性能的影响 | 第57-63页 |
| ·Sm的引入对NdFeB薄膜形貌的影响 | 第57-58页 |
| ·Sm的引入对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第58-59页 |
| ·Sm的引入对NdFeB薄膜磁性能的影响 | 第59-61页 |
| ·掺Sm对NdFeB薄膜成分的影响 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第77-78页 |