光栅式二维扫描测头的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·扫描式测头的研究现状 | 第12-14页 |
| ·平行簧片式测头的发展 | 第14-16页 |
| ·研究内容及论文结构 | 第16-17页 |
| ·课题研究内容 | 第16-17页 |
| ·论文结构 | 第17页 |
| ·课题来源 | 第17-18页 |
| 第2章 工作原理与系统方案 | 第18-24页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·测头的工作原理 | 第18-21页 |
| ·平行簧片导轨的机械结构原理 | 第19-20页 |
| ·光栅传感器的测量原理与应用 | 第20页 |
| ·光栅信号的通用型处理方法 | 第20-21页 |
| ·系统总体方案设计 | 第21-23页 |
| ·设计指标 | 第21-22页 |
| ·总体方案 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 机械结构及分析 | 第24-38页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·平行簧片机构的刚度研究 | 第24-27页 |
| ·簧片的刚度计算 | 第25-26页 |
| ·簧片的最大弹性位移 | 第26-27页 |
| ·测头机械结构 | 第27-32页 |
| ·平行簧片的选择和尺寸 | 第27-28页 |
| ·二维导向机构 | 第28-30页 |
| ·锁紧机构和限位机构 | 第30页 |
| ·重力平衡机构 | 第30-31页 |
| ·传感器的选择及安装 | 第31-32页 |
| ·平行簧片导轨的精度分析 | 第32-37页 |
| ·簧片径向变形的影响 | 第33-34页 |
| ·簧片不平行的影响 | 第34-35页 |
| ·簧片不相等的影响 | 第35-37页 |
| ·测针挠度的影响 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 光栅信号处理系统的研制 | 第38-60页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·信号处理硬件设计 | 第38-51页 |
| ·电源模块 | 第38-39页 |
| ·信号整形模块 | 第39-41页 |
| ·FPGA 模块 | 第41-46页 |
| ·DSP 模块 | 第46-48页 |
| ·系统通信接口模块 | 第48-51页 |
| ·系统软件设计 | 第51-58页 |
| ·DSP 程序设计 | 第51-54页 |
| ·USB 程序设计 | 第54-57页 |
| ·上位机软件设计 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 实验研究 | 第60-74页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·精度比对实验 | 第60-62页 |
| ·分辨率实验 | 第62-64页 |
| ·重复性实验 | 第64-65页 |
| ·稳定性实验 | 第65-66页 |
| ·线性度实验 | 第66-72页 |
| ·系统误差分析 | 第72-73页 |
| ·系统误差的来源 | 第72页 |
| ·减小系统误差的措施 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
