多晶硅水性切削液再生研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·多晶硅水性切削液再生概述 | 第11-23页 |
| ·多晶硅生产及需求状况简介 | 第11-13页 |
| ·多晶硅切割技术简介 | 第13-14页 |
| ·多晶硅切削液分散液概述 | 第14-17页 |
| ·多晶硅切削液刃料概述 | 第17-18页 |
| ·碳化硅微粉主要指标及测定方法 | 第18页 |
| ·多晶硅水性切削液失效分析 | 第18-19页 |
| ·多晶硅水性切削液再生现况 | 第19-22页 |
| ·多晶硅切削液的分析方法 | 第22-23页 |
| ·立题依据和意义 | 第23-24页 |
| ·研究的内容和目的 | 第24-25页 |
| 第二章 废切削液分析方法研究 | 第25-40页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·废切削液杂质含量测定方法研究 | 第25-31页 |
| ·实验药品与仪器 | 第25-26页 |
| ·实验原理与方法 | 第26-28页 |
| ·实验结果与讨论 | 第28-31页 |
| ·其它杂质的含量的测定与验证 | 第31-34页 |
| ·金属氧化物总含量测定 | 第31-32页 |
| ·氧化铁的验证及含量测定 | 第32页 |
| ·氧化铁含量的测定方法 | 第32-34页 |
| ·碳化硅物理分析方法 | 第34-37页 |
| ·样品粒径分布的测定 | 第34-36页 |
| ·粒度分析与化学分析法的比较 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-40页 |
| 第三章 聚乙二醇再生方法研究 | 第40-56页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验部分 | 第40-42页 |
| ·实验材料与仪器 | 第40页 |
| ·实验方法 | 第40-42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-53页 |
| ·减压蒸馏回收PEG 研究 | 第42-43页 |
| ·过滤浓缩回收PEG 研究 | 第43-47页 |
| ·重力沉降再生 PEG 研究 | 第47-50页 |
| ·离心沉降法回收 PEG | 第50-52页 |
| ·产品 PEG 与新样性质比较 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-56页 |
| 第四章 碳化硅微粉再生方法研究 | 第56-77页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·实验部分 | 第56-58页 |
| ·实验材料与仪器 | 第56页 |
| ·分析方法 | 第56-57页 |
| ·实验方法 | 第57-58页 |
| ·结果与讨论 | 第58-77页 |
| ·酸溶法回收碳化硅研究 | 第58-66页 |
| ·碱溶法再生碳化硅微粉研究 | 第66-74页 |
| ·酸法及碱法再生碳化硅微粉比较 | 第74-75页 |
| ·本章结论 | 第75-77页 |
| 第五章 结论与展望 | 第77-79页 |
| ·结论 | 第77-78页 |
| ·展望 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 附录：发表论文清单 | 第86页 |
