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电弧离子镀多层膜的工艺及性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-20页
   ·金属氮化物薄膜材料的发展现状第10-12页
   ·金属氮化物薄膜的性能及应用第12-16页
     ·二元金属氮化物薄膜第12-13页
     ·三元及多元金属氮化物薄膜第13-14页
     ·金属氮化物多层膜第14-16页
   ·薄膜制备的常用方法第16-19页
     ·物理气相沉积第16-18页
     ·化学气相沉积第18-19页
   ·课题研究的目的和意义第19-20页
第二章 实验材料与实验过程第20-26页
   ·实验材料第20页
   ·多层膜样品的制备第20-22页
     ·镀膜设备第20-22页
     ·多层膜的制备第22页
   ·多层膜的显微结构第22页
     ·膜层的表面及断面形貌第22页
     ·膜层的XRD谱第22页
   ·多层膜的性能检测第22-26页
     ·硬度测试第22-23页
     ·结合强度第23-24页
     ·腐蚀性能第24-25页
     ·断裂韧性第25页
     ·摩擦系数第25-26页
第三章 实验结果与分析第26-56页
   ·Ti/TiN多层膜第26-40页
     ·Ti/TiN多层膜的微观组织第26-30页
     ·不同调制周期的Ti/TiN多层膜的XRD谱第30-31页
     ·不同调制周期的Ti/TiN多层膜的性能第31-40页
   ·Cr/CrN多层膜第40-55页
     ·Cr/CrN多层膜的微观组织第40-44页
     ·Cr/CrN多层膜的XRD谱第44-45页
     ·不同调制周期的Cr/CrN多层膜的性能第45-55页
   ·Ti/TiN多层膜与Cr/CrN多层膜性能比较第55-56页
     ·硬度比较第55页
     ·耐腐蚀性比较第55页
     ·韧性的比较第55-56页
第四章 结论第56-57页
参考文献第57-61页
在学研究成果第61-62页
致谢第62页

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