电弧离子镀多层膜的工艺及性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·金属氮化物薄膜材料的发展现状 | 第10-12页 |
| ·金属氮化物薄膜的性能及应用 | 第12-16页 |
| ·二元金属氮化物薄膜 | 第12-13页 |
| ·三元及多元金属氮化物薄膜 | 第13-14页 |
| ·金属氮化物多层膜 | 第14-16页 |
| ·薄膜制备的常用方法 | 第16-19页 |
| ·物理气相沉积 | 第16-18页 |
| ·化学气相沉积 | 第18-19页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第19-20页 |
| 第二章 实验材料与实验过程 | 第20-26页 |
| ·实验材料 | 第20页 |
| ·多层膜样品的制备 | 第20-22页 |
| ·镀膜设备 | 第20-22页 |
| ·多层膜的制备 | 第22页 |
| ·多层膜的显微结构 | 第22页 |
| ·膜层的表面及断面形貌 | 第22页 |
| ·膜层的XRD谱 | 第22页 |
| ·多层膜的性能检测 | 第22-26页 |
| ·硬度测试 | 第22-23页 |
| ·结合强度 | 第23-24页 |
| ·腐蚀性能 | 第24-25页 |
| ·断裂韧性 | 第25页 |
| ·摩擦系数 | 第25-26页 |
| 第三章 实验结果与分析 | 第26-56页 |
| ·Ti/TiN多层膜 | 第26-40页 |
| ·Ti/TiN多层膜的微观组织 | 第26-30页 |
| ·不同调制周期的Ti/TiN多层膜的XRD谱 | 第30-31页 |
| ·不同调制周期的Ti/TiN多层膜的性能 | 第31-40页 |
| ·Cr/CrN多层膜 | 第40-55页 |
| ·Cr/CrN多层膜的微观组织 | 第40-44页 |
| ·Cr/CrN多层膜的XRD谱 | 第44-45页 |
| ·不同调制周期的Cr/CrN多层膜的性能 | 第45-55页 |
| ·Ti/TiN多层膜与Cr/CrN多层膜性能比较 | 第55-56页 |
| ·硬度比较 | 第55页 |
| ·耐腐蚀性比较 | 第55页 |
| ·韧性的比较 | 第55-56页 |
| 第四章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 在学研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
