| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·课题的来源及研究的意义 | 第10-11页 |
| ·国内外微小型机床及微结构机械加工技术发展现状 | 第11-15页 |
| ·国内外微小型机床的研究状况 | 第11-13页 |
| ·国内外微结构机械加工技术的研究状况 | 第13-15页 |
| ·课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 总体结构设计及控制系统设计 | 第17-24页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·传统设计方案的特点及缺陷 | 第17-18页 |
| ·总体设计方案 | 第18-23页 |
| ·总体结构建模与选型 | 第19-21页 |
| ·系统控制原理与加工流程图 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 宏/微运动平台设计与分析 | 第24-35页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·宏/微运动平台的建模与设计分析 | 第24-27页 |
| ·微动平台的结构设计 | 第26-27页 |
| ·微动工作台的动态模型 | 第27-29页 |
| ·微动工作台的理论计算 | 第29-32页 |
| ·柔性四杆机构的静态刚度计算 | 第29-31页 |
| ·铰链处所受的最大应力 | 第31页 |
| ·微动工作台的固有频率 | 第31-32页 |
| ·微动平台的有限元计算 | 第32-34页 |
| ·计算结果的比较 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 微力/位移传感器的设计与实验 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·弹性夹具体结构设计 | 第35-36页 |
| ·弹性夹具体的有限元分析 | 第36-39页 |
| ·微力/位移传感器的测试实验 | 第39-46页 |
| ·电涡流位移传感器的工作原理 | 第39-40页 |
| ·传感器的参数特性 | 第40-42页 |
| ·传感器静力测试 | 第42-44页 |
| ·传感器固有频率测试 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第5章 电致伸缩陶瓷的特性研究及微动平台迟滞位移曲线测试 | 第48-59页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·电致伸缩驱动器及驱动电源的选型 | 第48-50页 |
| ·电致伸缩陶瓷致动器的基本特性 | 第50-53页 |
| ·位移迟滞特性 | 第51页 |
| ·外力作用下的位移特性 | 第51-53页 |
| ·蠕变特性 | 第53页 |
| ·位移分辨率 | 第53页 |
| ·微动平台预紧力的分析 | 第53-55页 |
| ·预紧力对机构刚度和频响的影响 | 第53-55页 |
| ·预紧力对系统分辨率的影响 | 第55页 |
| ·微动平台的迟滞环位移曲线测试 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65页 |