| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·ZnO晶体概括 | 第8-9页 |
| ·Al掺杂ZnO | 第8-9页 |
| ·Ⅵ族元素掺杂的ZnO | 第9页 |
| ·锂离子电池概述 | 第9-15页 |
| ·锂离子电池的发展历史 | 第9-11页 |
| ·锂离子电池的工作原理 | 第11-12页 |
| ·锂离子电池的电极材料 | 第12-15页 |
| ·负极材料 | 第12-14页 |
| ·正极材料 | 第14-15页 |
| ·本论文的研究内容和意义 | 第15页 |
| 参考文献 | 第15-21页 |
| 第二章 样品制备及测试手段 | 第21-39页 |
| ·脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)技术 | 第21-24页 |
| ·脉冲激光沉积制备薄膜的基本原理 | 第21-22页 |
| ·实验装置示意图 | 第22-23页 |
| ·脉冲激光沉积技术的特点 | 第23-24页 |
| ·磁控溅射(Magnetron Sputtering)镀膜技术 | 第24-28页 |
| ·溅射理论 | 第24-25页 |
| ·辉光放电 | 第25-27页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第27-28页 |
| ·薄膜的物性表征及测试 | 第28-35页 |
| ·质量测定——数字式微量天平 | 第28页 |
| ·薄膜的厚度测定——探针式表面轮廓仪 | 第28-29页 |
| ·电学性能的测试——霍尔仪 | 第29-30页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第30-31页 |
| ·透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope) | 第31-33页 |
| ·X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy) | 第33-35页 |
| ·锂电池的组装及电化学性能测试方法 | 第35-36页 |
| ·电池的组装 | 第35页 |
| ·恒电流充放电测试(Galvanostatic Dischange/Change Cycling) | 第35-36页 |
| ·循环伏安法(Cyclic Voltammograms) | 第36页 |
| 参考文献 | 第36-39页 |
| 第三章 脉冲激光沉积(PLD)制备ZnO_(1-x)S_x薄膜及其性质的研究 | 第39-53页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·脉冲激光沉积技术制备ZnO_(1-x)S_x薄膜的实验参数 | 第40页 |
| ·样品靶的制备 | 第40页 |
| ·薄膜沉积条件 | 第40页 |
| ·实验结构和讨论 | 第40-51页 |
| ·结论 | 第51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第四章 射频磁控溅射制备ZnO:Al薄膜及其性质的研究 | 第53-73页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·相关实验参数 | 第53-54页 |
| ·样品靶的制备 | 第53-54页 |
| ·薄膜沉积条件 | 第54页 |
| ·实验仪器型号介绍 | 第54页 |
| ·实验结构及讨论 | 第54-70页 |
| ·沉积条件对AZO晶体结构、电学和光学性质的影响 | 第54-62页 |
| ·AZO电化学性质研究 | 第62-70页 |
| ·结论 | 第70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士期间论文发表情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
