| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·研究背景 | 第8-10页 |
| ·现代分析仪器概述 | 第8页 |
| ·原子发射光谱分析技术 | 第8-9页 |
| ·辉光光谱技术简介 | 第9-10页 |
| ·课题来源 | 第10-11页 |
| ·论文的主要内容及意义 | 第11-13页 |
| 第2章 辉光放电等离子体激发源工作原理 | 第13-21页 |
| ·辉光放电的基本原理 | 第13-15页 |
| ·辉光放电装置及放电区域划分 | 第13-14页 |
| ·辉光放电溅射激发机理 | 第14-15页 |
| ·辉光放电等离子体激发源 | 第15-20页 |
| ·直流辉光放电 | 第16-17页 |
| ·射频辉光放电 | 第17-20页 |
| ·辉光放电激发光源的改进 | 第20-21页 |
| 第3章 辉光放电光谱仪等离子体激发源用直流高压恒流源 | 第21-32页 |
| ·GD-0411 型直流高压恒流源的工作原理 | 第21-27页 |
| ·直流高压整流滤波电路 | 第21-23页 |
| ·恒流调整电路 | 第23-26页 |
| ·电源电路 | 第26页 |
| ·输出电流及输出端电压显示电路 | 第26-27页 |
| ·GD-0411 型直流高压恒流源的技术指标 | 第27-29页 |
| ·负载调整率测试 | 第27-28页 |
| ·输入电压变化调整率测试 | 第28-29页 |
| ·GD-0411 型恒流源驱动GRIMM 型辉光放电激发源时的溅射效果 | 第29-32页 |
| 第4章 辉光放电光谱仪等离子体激发源的自动控制 | 第32-52页 |
| ·射频功率源的计算机控制 | 第33-39页 |
| ·射频功率源的工作原理 | 第33-35页 |
| ·计算机控制射频功率源的工作原理 | 第35-39页 |
| ·GD-0411 型直流高压恒流电源的计算机控制 | 第39-49页 |
| ·氩气流量的计算机控制 | 第40-43页 |
| ·恒流源输出端电压的计算机采集 | 第43-47页 |
| ·恒流源输出端电压的计算机控制程序 | 第47页 |
| ·恒流源输出端电压计算机控制的实测数据 | 第47-49页 |
| ·辉光放电等离子体激发源其它部件的自动控制 | 第49-52页 |
| 第5章 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第56页 |