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硅薄膜太阳电池电极接触特性的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-11页
第一章 绪论第11-22页
   ·研究太阳能电池的意义第11-13页
   ·太阳能电池的发展及现状第13-21页
     ·化合物半导体薄膜电池第15-16页
     ·染料敏化TiO_2太阳电池第16-17页
     ·硅基太阳能电池第17-21页
   ·小结第21-22页
第二章 硅薄膜太阳能电池中的界面效应第22-30页
   ·硅薄膜太阳能电池的结构第22页
   ·界面效应第22-28页
     ·p/i界面接触层第23-24页
     ·TCO/p界面层,SnO_2和ZnO:Al的比较第24-26页
     ·n/TCO界面层第26-27页
     ·非理想界面第27-28页
     ·小结第28页
   ·开题思想第28-30页
第三章 透明导电薄膜与p-Si:H膜接触特性的研究第30-46页
   ·理论基础第30-34页
     ·异质结的能带图第30-31页
     ·异质pn结的势垒区宽度第31-32页
     ·晶格匹配和界面态第32-33页
     ·界面态对异质结能带图的影响第33页
     ·隧穿效应和欧姆接触第33-34页
   ·不同透明导电膜性质的比较第34-39页
     ·光学特性的比较第35-36页
     ·择优取向的比较第36-37页
     ·与H等离子体的作用第37-39页
   ·实验设计及方法第39-40页
   ·实验结果与讨论第40-45页
     ·不同透明导电膜上p-μc-Si:H薄膜的晶化率和表面形貌的比较第40-42页
     ·不同透明导电膜与p-a-Si:H接触特性的比较第42-45页
   ·小结第45-46页
第四章 ZnO:Al薄膜表面织构的研究第46-52页
   ·制作过程及反应机理第47-51页
     ·制作过程第48页
     ·化学反应机理第48-49页
     ·微结构形成与反应条件的关系第49-51页
   ·小结第51-52页
第五章 p型微晶硅与织构ZnO:Al的接触特性第52-59页
   ·实验设计及方法第52页
   ·实验结果与讨论第52-58页
     ·不同织构ZnO:Al上沉积的p-μc-Si:H薄膜的晶化率和表面形貌第52-54页
     ·p型微晶硅的掺杂浓度对晶化率和表面形貌的影响第54-56页
     ·不同织构时间对ZnO:Al/p接触特性的影响第56页
     ·p型微晶硅的掺杂浓度对ZnO:Al/p接触特性的影响第56-58页
   ·小结第58-59页
第六章 背电极 ZnO:Al的薄膜与n-a-Si:H的接触特性第59-66页
   ·实验方法和设计第60页
   ·实验结果和讨论第60-65页
     ·沉积硅膜的结晶状况第60-61页
     ·电子束蒸发 ZnO:Al膜掺杂浓度对n-a-Si:H/ZnO:Al接触特性影响第61-62页
     ·电子束蒸发 ZnO:Al膜的厚度对n-a-Si:H/ZnO:Al接触特性影响第62-63页
     ·磁控溅射 ZnO:Al膜的厚度对n-a-Si:H/ZnO:Al接触特性影响第63-65页
   ·小结第65-66页
第七章 结论第66-68页
参考文献第68-74页
发表论文第74-75页
致谢第75页

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