激光波长扫描干涉测试方法用于非球面测试的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| §1.1 研究背景 | 第9页 |
| §1.2 课题研究的意义 | 第9-10页 |
| §1.3 国内外相关技术发展概况 | 第10-13页 |
| §1.4 本课题主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 非球面检测基本理论 | 第14-20页 |
| §2.1 非球面的分类及用途 | 第14-16页 |
| §2.2 非球面检测方法 | 第16-19页 |
| §2.3 激光波长扫描干涉法简介 | 第19页 |
| §2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 激光波长扫描干涉测试原理 | 第20-27页 |
| §3.1 泰曼-格林干涉仪系统原理介绍 | 第20-22页 |
| §3.2 波面位相实时检测法原理 | 第22-26页 |
| §3.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 激光波长扫描干涉仪的构建 | 第27-39页 |
| §4.1 波长可调谐激光光源 | 第27-36页 |
| §4.1.1 波长可调谐激光光源简介 | 第27-30页 |
| §4.1.2 波长可调谐半导体激光光源 | 第30-35页 |
| §4.1.3 光源波长调制器 | 第35-36页 |
| §4.2 实验用光学系统 | 第36-38页 |
| §4.3 图像采集系统 | 第38页 |
| §4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 波长扫描干涉图处理 | 第39-60页 |
| §5.1 干涉图的读入及抽取 | 第39-40页 |
| §5.2 干涉图的处理 | 第40-52页 |
| §5.2.1 预处理 | 第40-43页 |
| §5.2.1 山脊线检出 | 第43-45页 |
| §5.2.3 细线化 | 第45-47页 |
| §5.2.4 条纹的插值 | 第47-52页 |
| §5.3 条纹扫描周期的自动确定 | 第52-53页 |
| §5.4 相位分布计算 | 第53-55页 |
| §5.5 实验用软件 | 第55-59页 |
| §5.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 实际检测示例 | 第60-69页 |
| §6.1 实际检测过程及实验结果 | 第60-68页 |
| §6.2 本章小结 | 第68-69页 |
| 第七章 结论 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73页 |
