| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-33页 |
| ·垂直腔面发射激光器的特性与优势 | 第14-15页 |
| ·垂直腔面发射激光器的应用 | 第15-18页 |
| ·垂直腔面发射激光器的发展历史、现状及发展趋势 | 第18-21页 |
| ·垂直腔面发射激光器的发展历史 | 第18-19页 |
| ·垂直腔面发射激光器的发展现状及发展趋势 | 第19-21页 |
| ·本课题的意义 | 第21-31页 |
| ·高功率半导体激光器的应用 | 第21-27页 |
| ·高功率半导体激光器的研发现状 | 第27-29页 |
| ·开展高功率垂直腔面发射半导体激光器研究的意义 | 第29-31页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第31页 |
| 参考文献 | 第31-33页 |
| 第二章 垂直腔面发射激光器的设计基础 | 第33-47页 |
| ·半导体中激光的产生机制 | 第33-35页 |
| ·垂直腔面发射激光器的工作特性 | 第35-39页 |
| ·垂直腔面发射激光器的高品质因数 | 第35-36页 |
| ·垂直腔面发射激光器中的微腔效应 | 第36-38页 |
| ·垂直腔面发射激光器的阈值条件 | 第38-39页 |
| ·垂直腔面发射激光器中的电流分布 | 第39-41页 |
| ·垂直腔面发射激光器的热特性分析 | 第41-45页 |
| ·半导体激光器的热特性分析 | 第41-43页 |
| ·加强垂直腔面发射激光器的热管理 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第三章 高功率垂直腔面发射激光器的设计 | 第47-64页 |
| ·分布布拉格反射镜的设计 | 第47-53页 |
| ·DBR的组分分布 | 第48-50页 |
| ·DBR多层膜结构的设计 | 第50-53页 |
| ·有源区及光腔的设计 | 第53-55页 |
| ·氧化物限制层的设计 | 第55-57页 |
| ·器件结构尺寸的设计 | 第57-61页 |
| ·器件尺寸与电流和载流子泄漏的关系 | 第57-58页 |
| ·尺寸效应对热特性的影响 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第四章 选择性氧化技术 | 第64-84页 |
| ·质子注入技术的优缺点 | 第64-65页 |
| ·AlGaAs选择性氧化技术简介 | 第65-68页 |
| ·AlGaAs选择性氧化技术的原理简介 | 第65-66页 |
| ·选择性氧化技术的优势与发展现状 | 第66-68页 |
| ·氧化窗口的结构设计 | 第68-70页 |
| ·GaAs/AlGaAs材料的选择性腐蚀工艺研究 | 第70-73页 |
| ·GaAs/AlGaAs材料腐蚀液的选取 | 第70-72页 |
| ·GaAs/AlGaAs的选择腐蚀速率 | 第72-73页 |
| ·选择性氧化工艺稳定性研究 | 第73-81页 |
| ·选择性氧化实验 | 第74-78页 |
| ·分析氧化速率与炉温、氧化时间的依赖关系 | 第78-79页 |
| ·分析氧化速率与 N_2流量的依赖关系 | 第79-80页 |
| ·分析氧化速率与氧化台面形状的依赖关系 | 第80-81页 |
| ·器件制作 | 第81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 第五章 垂直腔面发射激光器的测试及分析 | 第84-95页 |
| ·器件的光电特性测试 | 第84-86页 |
| ·器件的热特性测试 | 第86-92页 |
| ·温度参数即升即测测试装置 | 第86-89页 |
| ·结果分析与讨论 | 第89-92页 |
| ·优化设计的器件与未优化设计器件的性能比较 | 第92-94页 |
| ·本章小结 | 第94页 |
| 参考文献 | 第94-95页 |
| 第六章 垂直腔面发射激光器阵列技术 | 第95-107页 |
| ·垂直腔面发射激光器阵列的应用及其研究进展 | 第95-97页 |
| ·氧化物隔离垂直腔面发射激光器阵列 | 第97-98页 |
| ·垂直腔面发射激光器阵列的版图设计 | 第98-99页 |
| ·阵列器件测试 | 第99-104页 |
| ·在片检测装置 | 第99-101页 |
| ·测试结果分析 | 第101-104页 |
| ·阵列器件中的热特性分析 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-107页 |
| 第七章 高功率大出光孔垂直腔面发射激光器的优化设计 | 第107-117页 |
| ·高功率大出光孔垂直腔面发射激光器的发展状况 | 第107-108页 |
| ·面临的主要问题 | 第108-110页 |
| ·分析大出光孔垂直腔面发射激光器中的电流分布 | 第110-112页 |
| ·大出光孔垂直腔面发射激光器中电注入结构的优化设计 | 第112-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-117页 |
| 结束语 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 博士期间发表的文章及其他成果 | 第120-122页 |