| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 图表清单 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·微机电系统的简介 | 第11-12页 |
| ·微机电系统定义 | 第11页 |
| ·微机电系统的优势 | 第11-12页 |
| ·射频 MEMS 器件的研究与应用现状 | 第12-15页 |
| ·MEMS 开关 | 第12-14页 |
| ·MEMS 可调电容 | 第14页 |
| ·MEMS 电感 | 第14-15页 |
| ·射频 MEMS 组件的研究和应用现状 | 第15-18页 |
| ·MEMS 移相器的应用 | 第15-16页 |
| ·MEMS 移相器的分类 | 第16-18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 RF MEMS 开关的研究 | 第19-39页 |
| ·RF MEMS 开关的理论基础 | 第19-23页 |
| ·共面波导传输线（Coplanar Waveguide） | 第19-20页 |
| ·电容式 MEMS 开关的分析 | 第20-23页 |
| ·电容式 MEMS 开关设计中的重要参数 | 第23-29页 |
| ·下拉电压 | 第23-25页 |
| ·开关时间 | 第25-26页 |
| ·开关的等效电容和电感 | 第26-29页 |
| ·电容式 MEMS 开关的仿真实现及参数调整 | 第29-35页 |
| ·仿真工具的选择 | 第29页 |
| ·电容式 MEMS 开关的仿真实现 | 第29-32页 |
| ·基于 MEMS 开关性能要求的参数调整 | 第32-35页 |
| ·接触式 MEMS 开关的分析和实现 | 第35-39页 |
| 第三章电容式 MEMS 开关的优化 | 第39-48页 |
| ·低谐振频率开关的设计 | 第39-44页 |
| ·宽频带开关的设计 | 第44-46页 |
| ·RF MEMS 开关的制作工艺流程简述 | 第46-48页 |
| 第四章 分布式 MEMS 移相器 | 第48-59页 |
| ·分布式 MEMS 移相器理论 | 第48-53页 |
| ·Bragg 截止频率的分析 | 第49-50页 |
| ·等效电路分析 | 第50-51页 |
| ·有耗共面波导传输线 CLR 模型 | 第51-53页 |
| ·分布式 MEMS 移相器的实现 | 第53-55页 |
| ·分布式 MEMS 移相器的优化设计 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 开关线型 MEMS 移相器的分析设计 | 第59-68页 |
| ·开关线型 MEMS 移相器的设计 | 第59-61页 |
| ·开关线型 MEMS 移相器的实现 | 第61-65页 |
| ·高频段开关线型移相器的实现以及损耗分析 | 第65-68页 |
| ·高频段开关线型移相器的实现 | 第65-67页 |
| ·损耗分析 | 第67-68页 |
| 第六章 总结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75页 |