| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| ·金属纳米多层薄膜及其制备 | 第12-15页 |
| ·金属纳米多层薄膜 | 第12-13页 |
| ·金属纳米多层薄膜特性 | 第13-15页 |
| ·金属纳米多层薄膜制备工艺 | 第15页 |
| ·金属纳米多层薄膜界面反应机制 | 第15-19页 |
| ·初期互扩散过程 | 第16-17页 |
| ·相变过程 | 第17-19页 |
| ·二元系金属间化合物形成的预测模型 | 第19-22页 |
| ·经验性预测模型 | 第19-20页 |
| ·有效形成热模型 | 第20-22页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜研究进展 | 第22-24页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜结构与特性 | 第22-23页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应 | 第23-24页 |
| ·本文研究目的及研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 Fe/Ti纳米多层薄膜制备及分析方法 | 第25-36页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜制备 | 第25-29页 |
| ·双室高真空多功能磁控溅射装置 | 第25-27页 |
| ·工艺流程 | 第27-29页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜真空热退火处理 | 第29-31页 |
| ·分析方法 | 第31-36页 |
| ·Rutherford背散射分析 | 第31-32页 |
| ·X射线衍射分析 | 第32-33页 |
| ·差示扫描量热分析 | 第33-34页 |
| ·透射电子显微镜分析 | 第34-36页 |
| 第三章 Fe/Ti纳米多层薄膜结构特性 | 第36-56页 |
| ·调制周期 | 第36-41页 |
| ·相结构 | 第41-45页 |
| ·微结构 | 第45-52页 |
| ·横截面形貌和选区电子衍射分析 | 第45-48页 |
| ·高分辨透射电子显微观察 | 第48-52页 |
| ·讨论 | 第52-54页 |
| ·调制周期对Fe/Ti纳米多层薄膜晶体结构的影响 | 第52-53页 |
| ·工艺参数对Fe/Ti纳米多层薄膜择优取向的影响 | 第53-54页 |
| ·结论 | 第54-56页 |
| 第四章 Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应的结构表征 | 第56-76页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应过程 | 第56-58页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应的结构演变 | 第58-66页 |
| ·小角X射线衍射分析 | 第58-60页 |
| ·广角X射线衍射分析 | 第60-66页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应的微结构特征 | 第66-71页 |
| ·横截面形貌和选区电子衍射分析 | 第66-68页 |
| ·高分辨透射电子显微观察 | 第68-71页 |
| ·讨论 | 第71-74页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应阶段 | 第71-72页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应扩散机制 | 第72-73页 |
| ·调制周期和择优取向对Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应的影响 | 第73-74页 |
| ·结论 | 第74-76页 |
| 第五章 Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应热力学分析 | 第76-98页 |
| ·金属纳米多层薄膜界面能计算 | 第76-78页 |
| ·金属纳米多层薄膜界面反应金属间化合物形成有效形成热模型 | 第78-79页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应金属间化合物形成预测 | 第79-85页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜界面能计算 | 第79-81页 |
| ·Fe/Ti纳米多层薄膜金属间化合物形成预测 | 第81-85页 |
| ·讨论 | 第85-96页 |
| ·界面对Fe/Ti纳米属纳米多层薄膜界面反应的影响 | 第85-86页 |
| ·金属纳米多层薄膜金属间化合物形成预测 | 第86-96页 |
| ·结论 | 第96-98页 |
| 总结论 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
