晶圆磨床磨削力在线测量系统的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·论文的选题背景及来源 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·磨削力测量系统研究现状 | 第9-12页 |
| ·晶圆磨床磨削力测量系统的研究现状 | 第12-14页 |
| ·课题的意义及主要研究内容 | 第14-18页 |
| ·课题的意义 | 第14-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 压电测试系统 | 第18-31页 |
| ·压电测试系统组成 | 第18页 |
| ·石英晶体的压电机理 | 第18-24页 |
| ·压电效应 | 第18-19页 |
| ·石英晶体的压电机理及压电效应表达式 | 第19-21页 |
| ·组合晶组的构成 | 第21-24页 |
| ·压电传感器的等效电路 | 第24-26页 |
| ·压电式传感器的信号变换电路 | 第26-28页 |
| ·变换电路的必要性 | 第26-27页 |
| ·电荷放大器 | 第27-28页 |
| ·测力平台的测试线路 | 第28页 |
| ·测量原理 | 第28-29页 |
| ·信号处理与显示装置选型 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 磨削测力平台设计 | 第31-60页 |
| ·功能需求分析 | 第31页 |
| ·方案设计 | 第31-34页 |
| ·传感器的选择 | 第31-32页 |
| ·三向力测量方案 | 第32-33页 |
| ·测力平台的安装位置选择 | 第33-34页 |
| ·测力平台结构设计 | 第34-40页 |
| ·测力仪的设计要求 | 第34-36页 |
| ·结构设计 | 第36-39页 |
| ·测力平台在磨床上的装配 | 第39-40页 |
| ·力的传递模型 | 第40-52页 |
| ·测力平台中传感器的受力分析 | 第40-42页 |
| ·旋转工作台受力分析 | 第42-50页 |
| ·测力平台坐标系的建立 | 第50页 |
| ·实现对磨削力连续监测的必要条件 | 第50-51页 |
| ·测力平台预紧力的计算 | 第51-52页 |
| ·结构优化设计 | 第52-59页 |
| ·测力平台刚度和变形分析 | 第52-57页 |
| ·数值模态分析 | 第57-59页 |
| ·结构尺寸确定 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 测力平台标定及在线测量软件 | 第60-65页 |
| ·测力平台标定 | 第60-63页 |
| ·静态标定 | 第60-62页 |
| ·动态标定 | 第62-63页 |
| ·在线测量软件 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 5 控制力磨削 | 第65-74页 |
| ·磨削力对材料去除率影响 | 第65页 |
| ·磨削力对晶圆表面质量影响 | 第65页 |
| ·工艺参数对磨削力的影响 | 第65-67页 |
| ·控制力磨削 | 第67-70页 |
| ·消空程与防碰撞控制 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
