基于柔性衬底的微型换能器技术
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·柔性衬底基微换能器 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-13页 |
| ·柔性衬底基微致动器的研究现状 | 第8-9页 |
| ·柔性衬底基微传感器的研究现状 | 第9-13页 |
| ·论文的研究内容和意义 | 第13-15页 |
| 第二章 柔性衬底基微换能器基础 | 第15-27页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·聚酰亚胺基柔性微换能器 | 第15-22页 |
| ·固态聚酰亚胺薄膜柔性衬底工艺 | 第16-18页 |
| ·液态聚酰亚胺成膜柔性衬底工艺 | 第18-20页 |
| ·聚酰亚胺基微换能器 | 第20-22页 |
| ·PDMS基柔性微换能器 | 第22-25页 |
| ·PDMS柔性衬底工艺 | 第23-24页 |
| ·PDMS基微换能器 | 第24-25页 |
| ·金属基柔性微换能器 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 气泡型微致动器的设计研发 | 第27-45页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·MEMS主动流动控制原理 | 第27-30页 |
| ·主动流动控制原理 | 第27-28页 |
| ·气泡型微致动器的工作原理 | 第28-30页 |
| ·气泡型微致动器的设计与仿真 | 第30-34页 |
| ·气泡型微致动器的结构设计 | 第30-32页 |
| ·气泡型微致动器的行为仿真 | 第32-34页 |
| ·气泡型微致动器的制作与测试 | 第34-40页 |
| ·气泡型微致动器的制作 | 第34-37页 |
| ·气泡型微致动器的性能测试 | 第37-40页 |
| ·气泡型微致动器的风洞实验 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 微型触觉传感器的设计研发 | 第45-59页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·微型触觉传感器的原理 | 第45-47页 |
| ·微型触觉传感器的传感原理 | 第45-46页 |
| ·开关式触觉传感器的检测原理 | 第46-47页 |
| ·微型触觉传感器的结构设计 | 第47-48页 |
| ·微型触觉传感器的行为仿真 | 第48-54页 |
| ·硅橡胶基微型触觉传感器的行为仿真 | 第48-52页 |
| ·聚酰亚胺基微型触觉传感器的行为仿真 | 第52-54页 |
| ·微型触觉传感器的制作工艺 | 第54-58页 |
| ·硅橡胶基微型触觉传感器的工艺 | 第54-57页 |
| ·聚酰亚胺基微型触觉传感器的工艺 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·总结 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读学位期间发表论文及参加科研情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66-70页 |
