基于MEMS的压电型微能量采集器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-12页 |
| ·国内外研究进展 | 第12-16页 |
| ·非MEMS 压电型能量采集器的研究进展 | 第12-15页 |
| ·基于MEMS 的压电型微能量采集器的研究进展 | 第15-16页 |
| ·课题的研究目的及内容 | 第16-18页 |
| 第二章 压电型微能量采集器的工作原理 | 第18-26页 |
| ·PZT 压电材料 | 第18-22页 |
| ·压电性和压电方程 | 第18-20页 |
| ·PZT 压电材料及其极化 | 第20-22页 |
| ·压电模式－D31 和D33 | 第22-23页 |
| ·器件基本结构 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 解析计算与器件结构设计 | 第26-45页 |
| ·器件性能的解析计算方法 | 第26-29页 |
| ·弹簧-质量块阻尼振动模型 | 第26-27页 |
| ·压电响应的动态变压器模型 | 第27-29页 |
| ·压电型微能量采集器谐振频率的计算 | 第29-32页 |
| ·压电型微能量采集器的电学计算 | 第32-36页 |
| ·d31 工作模式转变比率的计算 | 第32-34页 |
| ·d33 工作模式的转变比率的计算 | 第34-35页 |
| ·输出电学量的计算 | 第35-36页 |
| ·器件结构参数与性能的关系 | 第36-42页 |
| ·影响d31 器件的电学性能的参数 | 第37-40页 |
| ·影响d33 器件的电学性能的参数 | 第40-42页 |
| ·振动输入量与电学输出的关系 | 第42-43页 |
| ·器件设计尺寸 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章器件工艺制备研究 | 第45-56页 |
| ·D31 器件的工艺制备流程 | 第45-47页 |
| ·D33 的工艺制备流程 | 第47-48页 |
| ·相关工艺的研究 | 第48-54页 |
| ·实验原理与过程 | 第49-50页 |
| ·实验结果与分析 | 第50-52页 |
| ·工艺参数优化 | 第52-54页 |
| ·D31 器件样品及组装 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章压电型微能量采集器的测试 | 第56-65页 |
| ·测试方法及设备 | 第56-57页 |
| ·D31 性能测试结果 | 第57-64页 |
| ·悬臂梁的谐振频率测试 | 第57-58页 |
| ·输出电压测试 | 第58-60页 |
| ·最大输出功率 | 第60-61页 |
| ·振源强度对输出的影响 | 第61-62页 |
| ·悬臂梁串联测试 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章结论与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-76页 |
| MATLAB 解析计算程序-D31器件（附录1） | 第76-78页 |
| MATLAB 解析计算程序-D33器件（附录2） | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第81页 |
