| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·低介电常数材料的研究背景 | 第7-9页 |
| ·SiCOH薄膜研究现状 | 第9-12页 |
| ·本小组有关SiCOH薄膜的研究 | 第12-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 SiCOH薄膜的制各及表征方法 | 第15-26页 |
| ·SiCOH薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| ·微波电子回旋共振等离子体(ECR Plasma)简介 | 第15-16页 |
| ·ECR等离子体沉积薄膜方法与实验装置 | 第16-17页 |
| ·实验参数 | 第17-18页 |
| ·SiCOH薄膜性能与结构的表征方法 | 第18-22页 |
| ·SiCOH薄膜的介电与电学性能的表征 | 第18-19页 |
| ·SiCOH薄膜结构的傅立叶变换红外光谱表征 | 第19-22页 |
| ·ECR放电等离子体特性分析 | 第22-26页 |
| ·ECR放电等离子体发射光谱的诊断原理与方法 | 第22-24页 |
| ·特征谱线与基团识别 | 第24-26页 |
| 第三章 甲烷掺杂的SiCOH薄膜的介电、电学性能与键结构分析 | 第26-34页 |
| ·甲烷掺杂的SiCOH薄膜的键结构分析 | 第26-30页 |
| ·薄膜的介电特性 | 第30-31页 |
| ·等离子体发光光谱的诊断 | 第31-32页 |
| ·甲烷掺杂的SiCOH薄膜的电绝缘性能 | 第32-34页 |
| 第四章 退火气氛对薄膜结构和电学性质的影响 | 第34-41页 |
| ·键结构的FTIR分析 | 第34-39页 |
| ·薄膜的介电与电学性质 | 第39-41页 |
| ·薄膜的介电性能 | 第39页 |
| ·薄膜的漏电流 | 第39-41页 |
| 第五章 结论 | 第41-43页 |
| ·本研究的主要结果 | 第41-42页 |
| ·存在的主要问题和进一步研究的方向 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-47页 |
| 附录：攻读学位期间公开发表的论文 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 中文详细摘要 | 第50-52页 |