盘型分子泵过渡流态DSMC模拟研究
| 独创性声明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·稀薄气体过渡流态的模拟方法介绍 | 第10-14页 |
| ·矩方程方法 | 第11页 |
| ·Monte-Carlo方法 | 第11-12页 |
| ·CFD方法 | 第12页 |
| ·直接模拟法 | 第12-14页 |
| ·其它方法 | 第14页 |
| ·本文工作 | 第14-16页 |
| 第二章 盘型分子泵简介 | 第16-21页 |
| ·分子泵概述 | 第16-17页 |
| ·盘型分子泵原理 | 第17-18页 |
| ·盘型分子泵型线简介 | 第18-21页 |
| 第三章 直接模拟蒙特卡罗方法(DSMC) | 第21-36页 |
| ·概述 | 第21-23页 |
| ·蒙特卡罗方法基本思想 | 第21页 |
| ·直接模拟蒙特卡罗方法特点 | 第21-22页 |
| ·气体分子动力学原理 | 第22页 |
| ·直接模拟蒙特卡罗方法与Boltzmann方程 | 第22-23页 |
| ·直接模拟蒙特卡罗模拟原理 | 第23-36页 |
| ·DSMC方法模拟流程 | 第23-27页 |
| ·DSMC方法中的分子运动问题 | 第27页 |
| ·DSMC方法中的碰撞问题 | 第27-30页 |
| ·DSMC方法中的边界问题 | 第30-32页 |
| ·DSMC方法中的网格划分及时间步长 | 第32-36页 |
| 第四章 盘型分子泵抽气过程的DSMC模拟 | 第36-50页 |
| ·建立几何模型 | 第36-38页 |
| ·网格划分 | 第38-40页 |
| ·运动与碰撞设计 | 第40-43页 |
| ·入口边界设计与碰撞边界设计 | 第43-47页 |
| ·其它关键技术处理 | 第47-50页 |
| ·初始数据的设置 | 第47-48页 |
| ·最大压缩比的统计 | 第48页 |
| ·最大抽气系数的计算 | 第48页 |
| ·实验气体的选择 | 第48页 |
| ·达到平衡状态的循环情况 | 第48-50页 |
| 第五章 模拟结果分析 | 第50-72页 |
| ·几何参数对抽气系数的影响 | 第50-59页 |
| ·R3的影响 | 第51-53页 |
| ·Rc的影响 | 第53-54页 |
| ·R1的影响 | 第54-55页 |
| ·RPM的影响 | 第55-56页 |
| ·高度H的影响 | 第56-58页 |
| ·开口大小的影响 | 第58-59页 |
| ·温度对抽气系数的影响 | 第59-62页 |
| ·表面温度的影响 | 第59-60页 |
| ·气体温度的影响 | 第60-62页 |
| ·其它因素的影响 | 第62-65页 |
| ·气体种类的影响 | 第62-63页 |
| ·表面反射类型的影响 | 第63-64页 |
| ·气体碰撞模型的影响 | 第64-65页 |
| ·不同气体的压缩比与抽气系数 | 第65-69页 |
| ·氮气在不同压缩比下的抽气系数 | 第65-66页 |
| ·氢气在不同压缩比下的抽气系数 | 第66-67页 |
| ·氧气在不同压缩比下的抽气系数 | 第67页 |
| ·氩气在不同压缩比下的抽气系数 | 第67-68页 |
| ·氦气在不同压缩比下的抽气系数 | 第68-69页 |
| ·抽速计算 | 第69-70页 |
| ·程序统计规律研究 | 第70-71页 |
| ·分子随着时间的变化趋势 | 第70页 |
| ·程序的振荡现象 | 第70-71页 |
| ·本章总结 | 第71-72页 |
| 第六章 结束语及对未来工作展望 | 第72-74页 |
| ·研究总结 | 第72-73页 |
| ·未来工作展望与建议 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第78页 |
