| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题的来源和研究意义 | 第9-11页 |
| ·小功率 RF/MW等离子体源的特点及其国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·论文的研究内容和创新之处 | 第14页 |
| ·论文的内容安排 | 第14-16页 |
| 第二章 感应耦合等离子体 | 第16-24页 |
| ·等离子体概述 | 第16-17页 |
| ·等离子体性质和应用 | 第17-18页 |
| ·气体放电与等离子体的形成 | 第18-20页 |
| ·感应耦合等离子体的形成 | 第20-24页 |
| 第三章 微带线理论 | 第24-34页 |
| ·微带线的传输模式 | 第24-25页 |
| ·微带线的准静态参数 | 第25-29页 |
| ·微带线的色散效应和尺寸限制 | 第29-30页 |
| ·微带线开路终端的辐射 | 第30-34页 |
| 第四章 平面微带螺旋电感耦合等离子体源的理论分析和计算 | 第34-44页 |
| ·电感耦合等离子体源特性 | 第34页 |
| ·平面微带螺旋电感耦合等离子体源的理论分析 | 第34-37页 |
| ·平面微带螺旋电感的模型处理 | 第37-38页 |
| ·平面微带螺旋电感等效电感和等效电阻的计算 | 第38-40页 |
| ·平面微带螺旋电感品质因数的分析 | 第40-44页 |
| 第五章 平面微带螺旋电感耦合等离子体源天线的MATLAB仿真 | 第44-53页 |
| ·MATLAB简介和天线的计算模型处理 | 第44页 |
| ·固定外径为4mm时的 MATLAB仿真 | 第44-48页 |
| ·固定外直径为 2mm进行的 MATLAB仿真 | 第48-51页 |
| ·结论 | 第51-53页 |
| 第六章 小功率平面微带ICPS天线的 HFSS仿真 | 第53-61页 |
| ·电磁场仿真软件的优点和 HFSS的简介 | 第53-54页 |
| ·小功率平面微带 ICPS天线的 HFSS仿真结果 | 第54-61页 |
| 第七章 总结和展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 研究生期间的科研成果 | 第67页 |
