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n-GaN肖特基势垒二极管的高温电子辐照效应

摘要第1-4页
Abstract第4-6页
目录第6-8页
第一章 GaN材料与器件的研究概况第8-17页
   ·引言第8页
   ·GaN半导体材料第8-10页
   ·GaN器件及应用第10-13页
   ·GaN光电探测器件的辐照效应第13-14页
   ·论文的工作和重点第14页
 参考文献第14-17页
第二章 实验原理第17-30页
   ·半导体的光吸收第17-21页
     ·本征吸收第17-19页
     ·激子吸收第19页
     ·自由载流子吸收第19-20页
     ·杂质吸收第20-21页
   ·光电探测器的工作原理和分类第21-25页
     ·光电探测器的工作原理第21-22页
       ·光电导型光电探测器的工作原理第21页
       ·势垒型光电探测器的工作原理第21-22页
     ·势垒型光电探测器的分类第22-25页
   ·辐射对半导体材料和器件的影响第25-29页
     ·位移损伤及缺陷退火第26-27页
     ·位移损伤缺陷对宏观电参数的影响第27页
     ·半导体器件的辐照损伤第27-28页
     ·界面态的影响第28页
     ·辐照对GaN紫外探测器的影响第28-29页
 参考文献第29-30页
第三章 GaN Schottky二极管和GaN pn结二极管的制备第30-37页
   ·GaN Schottky二极管的制备第30-31页
     ·样品结构第30-31页
     ·样品制备第31页
   ·GaN pn结二极管的制备第31-36页
     ·样品结构第31-32页
     ·样品制备过程第32-33页
     ·制备工艺分析第33-36页
   ·小结第36-37页
第四章 n-GaN肖特基势垒二极管的室温电子辐照效应第37-45页
   ·实验第37-38页
   ·结果与讨论第38-44页
     ·室温无光照下电子辐照对样品的影响第38-40页
     ·室温下光照对样品光敏特性的影响第40-43页
     ·室温辐照后的低温退火研究第43-44页
   ·小结第44页
 参考文献第44-45页
第五章 n-GaN肖特基势垒二极管的高温电子辐照效应第45-50页
   ·实验条件第45页
   ·结果与讨论第45-48页
     ·无光照下高温电子辐照对样品的影响第45-47页
     ·高温电子辐照对GaN肖特基势垒紫外光探测器光敏特性的影响第47-48页
   ·小结第48页
 参考文献第48-50页
总结第50-51页
科研成果简介第51-52页
声明第52-53页
致谢第53页

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