| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-28页 |
| ·纳米CeO_2概述 | 第8-10页 |
| ·CeO_2的资源状况 | 第8页 |
| ·CeO_2的结构及性质 | 第8-9页 |
| ·纳米CeO_2的用途 | 第9-10页 |
| ·化学机械抛光(CMP)技术概述 | 第10-13页 |
| ·CMP简介 | 第10-11页 |
| ·CMP机理 | 第11-12页 |
| ·CMP浆料 | 第12页 |
| ·CMP技术的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·表面活性剂概述 | 第13-19页 |
| ·表面活性剂的分类 | 第13-14页 |
| ·表面活性剂的分散机理 | 第14-17页 |
| ·混合表面活性剂 | 第17-19页 |
| ·分散技术概述 | 第19-26页 |
| ·超细粉体在液相中的分散 | 第19-22页 |
| ·分散稳定机理 | 第22-24页 |
| ·纳米微粒的分散技术 | 第24-26页 |
| ·纳米微粒分散技术发展方向 | 第26页 |
| ·本论文的研究意义 | 第26-28页 |
| 第二章 纳米CeO_2在水相中的分散性研究 | 第28-38页 |
| ·实验试剂 | 第28页 |
| ·实验仪器与设备 | 第28-29页 |
| ·实验方法 | 第29-31页 |
| ·合成实验和表征方法 | 第29页 |
| ·CeO_2在水溶液中的ζ电位测定 | 第29-31页 |
| ·CeO_2在水溶液中的分散性测定 | 第31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-36页 |
| ·纳米CeO_2的表征结果 | 第31-33页 |
| ·CeO_2在不同pH水相体系中的ζ电位 | 第33-35页 |
| ·CeO_2在水溶液中的分散性的研究 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第三章 表面活性剂分散纳米CeO_2的表面化学研究 | 第38-59页 |
| ·实验试剂 | 第38页 |
| ·实验仪器与设备 | 第38-39页 |
| ·实验方法 | 第39-43页 |
| ·吸附实验 | 第39-41页 |
| ·表面张力实验 | 第41-42页 |
| ·ζ电位测定实验 | 第42-43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-58页 |
| ·表面活性剂对溶液表面张力的影响 | 第43-45页 |
| ·表面活性剂的吸附实验 | 第45-53页 |
| ·电位测定结果分析 | 第53-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 表面活性剂对CeO_2浆料的分散效果研究 | 第59-64页 |
| ·实验试剂 | 第59页 |
| ·实验仪器与设备 | 第59-60页 |
| ·实验方法 | 第60页 |
| ·实验过程 | 第60页 |
| ·分散效果评价 | 第60页 |
| ·分散效果分析 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72页 |