热解石墨栅极毛坯沉积工艺研究及应用
| 第一章 前言 | 第1-19页 |
| ·课题研究背景 | 第11-15页 |
| ·电子管发展趋势 | 第11-13页 |
| ·热解石墨栅极的优势 | 第13-15页 |
| ·公司热解石墨栅极生产制造中的问题 | 第15页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第15-16页 |
| ·国内外动态 | 第16-18页 |
| ·热解石墨沉积发展概况及应用领域 | 第16-17页 |
| ·热解石墨栅极技术的发展现状 | 第17-18页 |
| ·本课题要解决的主要问题 | 第18-19页 |
| ·石墨栅极毛坯沉积 | 第18页 |
| ·沉积设备的维护 | 第18页 |
| ·优化车、磨加工工艺 | 第18-19页 |
| 第二章 理论分析 | 第19-28页 |
| ·热解石墨的沉积机理 | 第19-22页 |
| ·热解沉积动力学分析 | 第22-24页 |
| ·热解石墨栅极毛坯缺陷分析 | 第24-28页 |
| 第三章 试验 | 第28-37页 |
| ·试验设备、仪器和材料 | 第28-33页 |
| ·试验设备、试验仪器、量具及沉积设备框图 | 第28-29页 |
| ·沉积室结构 | 第29-32页 |
| ·沉积设备的维护及保养 | 第32页 |
| ·炉膛保温层的维护及保养 | 第32页 |
| ·中频电源柜等部分的维护及保养 | 第32页 |
| ·试验用材料 | 第32-33页 |
| ·试验流程 | 第33页 |
| ·石墨栅极毛坯沉积 | 第33-35页 |
| ·石墨栅极毛坯沉积 | 第33页 |
| ·石墨栅极毛坯密度测试 | 第33-34页 |
| ·石墨栅极毛坯沉积速度测试 | 第34页 |
| ·石墨栅极毛坯组织结构分析 | 第34-35页 |
| ·石墨栅极毛坯车削、磨削加工 | 第35-37页 |
| ·夹具设计及改进 | 第35页 |
| ·车、磨加工参数 | 第35-37页 |
| 第四章 结果与讨论 | 第37-64页 |
| ·石墨栅极毛坯沉积工艺讨论 | 第37-45页 |
| ·碳氢化合物气体浓度和压强范围 | 第37-40页 |
| ·气体的流量对沉积反应的影响 | 第40-42页 |
| ·氩气稀释试验结果 | 第42页 |
| ·毛坯沉积厚度对毛坯应力开裂的影响 | 第42-44页 |
| ·水分对沉积的石墨栅极毛坯性能的影响 | 第44-45页 |
| ·沉积温度对沉积的石墨栅极毛坯密度的影响 | 第45-47页 |
| ·沉积速度和沉积温度的关系 | 第47-48页 |
| ·石墨栅极毛坯组织结构分析 | 第48-52页 |
| ·车削、磨削加工 | 第52-58页 |
| ·概要 | 第52-53页 |
| ·工艺方案及夹具设计 | 第53-58页 |
| ·沉积毛坯尺寸的确定 | 第53-55页 |
| ·车削工艺及夹具设计 | 第55-57页 |
| ·外圆、内圆磨削工艺及夹具设计 | 第57-58页 |
| ·沉积基体设计及改进 | 第58-63页 |
| ·本课题研究的经济效益和社会效益 | 第63-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-68页 |
| 第六章 措施与建议 | 第68-71页 |
| ·热解石墨栅极毛坯的常见缺陷和应对措施 | 第68-69页 |
| ·热解石墨产品中的碳黑夹杂 | 第68页 |
| ·石墨瘤 | 第68页 |
| ·分层和开裂 | 第68-69页 |
| ·下一步工作方向 | 第69-70页 |
| ·继续作好氩气沉积试验研究工作 | 第69页 |
| ·将低温沉积工艺研究深入下去 | 第69-70页 |
| ·沉积基体的重复利用 | 第70页 |
| ·组织开展群众性专题TQC 活动 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-73页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第73页 |
