基于MEMS技术的角度可调谐光滤波器研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·引言 | 第8-12页 |
| ·光纤通信系统 | 第8-10页 |
| ·微机电系统 | 第10-11页 |
| ·MEMS技术在光纤通信系统中的应用 | 第11-12页 |
| ·光学滤波器概述 | 第12-19页 |
| ·固定光学滤波器 | 第13-14页 |
| ·可调谐光学滤波器 | 第14-19页 |
| ·本论文的工作 | 第19-22页 |
| ·本论文的目的与意义 | 第19-20页 |
| ·本论文的创新点 | 第20页 |
| ·论文内容 | 第20-22页 |
| 第二章 基于角度转动可调谐光滤波器的原理与结构 | 第22-38页 |
| ·角度调谐滤波的基本原理 | 第22-28页 |
| ·多光束干涉原理 | 第22-25页 |
| ·重要的特性参量 | 第25-28页 |
| ·影响干涉滤波性能的因素 | 第28-34页 |
| ·偏振效应 | 第28-30页 |
| ·光斑展宽 | 第30-33页 |
| ·有限数目光束干涉分析 | 第33-34页 |
| ·一种新型的基于角度调谐的光滤波器 | 第34-37页 |
| ·基本结构 | 第35页 |
| ·主要组成部分 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 转动结构的设计 | 第38-50页 |
| ·力学分析 | 第38-41页 |
| ·静态受力分析 | 第38-39页 |
| ·动态受力分析 | 第39-41页 |
| ·阻尼结构分析 | 第41-42页 |
| ·转动结构设计 | 第42-49页 |
| ·转动平台尺寸对阻尼因子的影响 | 第42-44页 |
| ·线圈尺寸对阻尼因子的影响 | 第44-45页 |
| ·永磁体与激励线圈的设计 | 第45-48页 |
| ·阻尼效果分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 角度可调谐光滤波器的制备与测试 | 第50-58页 |
| ·角度可调谐光滤波器的工艺设计 | 第50-53页 |
| ·电镀技术 | 第50页 |
| ·牺牲层工艺 | 第50-51页 |
| ·深度反应离子腐蚀工艺 | 第51页 |
| ·工艺流程 | 第51-53页 |
| ·器件制作结果 | 第53页 |
| ·测试装置及结果分析 | 第53-56页 |
| ·测试装置 | 第53-54页 |
| ·测试结果 | 第54-56页 |
| ·测试结果分析 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·本论文工作总结 | 第58-59页 |
| ·对进一步研究工作的展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 硕士期间发表论文 | 第62-63页 |
| 作者简历 | 第63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 学位论文独创性声明 | 第64页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第64页 |
