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等离子体辅助电子束蒸发金属Zn制备纳米ZnO薄膜机构和光学性质的研究

摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
目录第5-7页
第一章 引言第7-20页
   ·ZnO材料的基本性质第8-9页
   ·ZnO材料的研究进展第9-17页
     ·ZnO紫外激光辐射第10-12页
     ·一维ZnO纳米材料的研究进展第12-14页
     ·可见光发光机理研究第14-16页
     ·ZnO的p型掺杂和pn结的制作第16-17页
     ·不同掺杂对ZnO电磁学特性的影响的研究第17页
   ·当前ZnO材料研究中存在的主要问题第17-18页
   ·本研究课题的提出及研究目的第18-19页
   ·小结第19-20页
第二章 ZnO薄膜材料的制备和表征方法简介第20-28页
   ·电子束蒸发设备的原理和结构..第20-22页
   ·热退火装置的结构.第22-24页
   ·X射线衍射原理第24-25页
   ·微区光致发光光谱仪的结构第25页
   ·X射线光电子能谱(XPS)第25-28页
第三章 等离子体辅助电子束蒸发金属Zn制备的纳米ZnO薄膜结构和     光学性质的研究第28-42页
   ·样品的制备过程第29页
   ·等离子体辅助电子束蒸发金属Zn制备的纳米ZnO薄膜的结构分析第29-35页
     ·X射线衍射谱第29-31页
     ·Raman 谱第31-33页
     ·X射线光电子能谱(XPS)第33-35页
   ·等离子体辅助电子束蒸发金属Zn制备的纳米 ZnO薄膜的光学特性分析第35-41页
     ·室温光致发光谱第35-39页
     ·变温光致发光谱第39-41页
   ·小结第41-42页
第四章 结论第42-43页
参考文献第43-48页
硕士期间发表的论文第48-49页
致谢第49页

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