基于SOI材料光通信器件的模拟、设计和制作

摘要	第1-3页
ABSTRACT	第3-5页
第1章 引言	第5-17页
·不断发展的光通信技术	第6-12页
·SOI技术发展现状	第12-17页
·SOI在集成电路领域的应用	第12-13页
·SOI在集成光电子方面的应用	第13-17页
第2章 理论分析与模拟设计	第17-62页
·光波导的模式分析和理论基础	第17-33页
·介质光波导本征方程	第17-22页
·束传播方法	第22-25页
·有限差分法	第25-31页
·有效折射率法	第31-33页
·SOI脊形光波导的结构特性分析	第33-47页
·脊形光波导的单模条件	第33-36页
·脊形波导本征模式	第36-37页
·泄漏损耗分析	第37-42页
·弯曲损耗以及弯曲波导设计	第42-46页
·光纤耦合损耗	第46-47页
·SOI无源器件设计	第47-62页
·Y型分支波导	第48-49页
·定向耦合器	第49-53页
·MMI耦合器	第53-56页
·Mach-Zehnder干涉仪	第56-62页
第3章 制作工艺	第62-74页
·SOI材料制作工艺介绍	第62-65页
·SOI集成光波导的半导体加工工艺	第65-74页
第4章 总结	第74-76页
·小结	第74页
·今后的工作	第74-76页
参考文献	第76-81页
附录	第81-82页
致谢	第82页