首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--半导体技术论文--半导体光电器件论文

金属—半导体—金属结构二氧化钛紫外光电探测器的研制

提要第1-8页
第一章 绪论第8-29页
 第一节 引言第8-9页
 第二节 紫外探测器的分类第9-16页
 第三节 宽禁带半导体紫外探测器第16-21页
 第四节 本论文的主要工作第21-23页
 参考文献第23-29页
第二章 TiO_2薄膜的制备与表征第29-56页
 第一节 引言第29-36页
     ·Ti02 薄膜的晶体结构第29-33页
     ·纳米Ti02 的制备方法第33-34页
     ·纳米Ti02 的用途第34-36页
 第二节 TiO_2薄膜的制备第36-40页
 第三节 TiO_2薄膜的表征第40-49页
     ·X 射线衍射分析(XRD)第40-42页
     ·紫外吸收谱(UV-Vis)第42-44页
     ·原子力显微镜(AFM)第44-45页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第45-48页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第48-49页
 第四节 组分掺杂TiO_2材料的制备与表征第49-52页
 第五节 本章小结第52-53页
 参考文献第53-56页
第三章 TiO_2金属-半导体接触第56-86页
 第一节 金属-半导体接触的理论第56-72页
     ·肖特基势垒的起源[12-17]第56-61页
     ·肖特基势垒的电流输运理论第61-62页
     ·肖特基势垒的电流电压特性第62-68页
     ·肖特基势垒电容第68-69页
     ·欧姆接触第69-72页
 第二节 TiO_2/金属器件的制备与性能测试第72-82页
     ·器件的制作工艺第72-75页
     ·测试与结果分析第75-82页
 第三节 本章小结第82-84页
 参考文献第84-86页
第四章 TiO_2紫外探测器的制作与性能测试第86-109页
 第一节 探测器的工作原理及主要参数第87-94页
     ·光导型探测器的基本原理及主要参数第87-93页
     ·光伏型探测器的基本原理及主要参数第93-94页
 第二节 AU/TiO_2/AU结构紫外探测器的制作与测试第94-102页
     ·探测器的制作第94-96页
     ·器件性能测试第96-102页
 第三节 NI/TiO_2/NI 结构紫外光探测器第102-104页
 第四节 其他器件的性能分析第104-105页
     ·Cr/TiO_2/Cr 器件第104页
     ·组分掺杂器件第104-105页
 第五节 本章小结第105-107页
 参考文献第107-109页
第五章 结论第109-111页
致谢第111-112页
发表文章第112-115页
中文摘要第115-118页
ABSTRACT第118-121页

论文共121页,点击 下载论文
上一篇:有机电致发光器件的研究
下一篇:H.264解码关键算法的VLSI实现研究