| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-34页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状分析 | 第15-25页 |
| ·单驱动源微进给机构 | 第15-23页 |
| ·双驱动源微进给机构 | 第23-25页 |
| ·大行程高精度微进给系统的关键技术 | 第25-32页 |
| ·驱动技术 | 第25-28页 |
| ·传动技术 | 第28-29页 |
| ·位置检测技术 | 第29页 |
| ·控制方法 | 第29-32页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 大行程高精度微进给系统的设计 | 第34-51页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·微进给系统的总体方案设计及原理 | 第34-38页 |
| ·微进给系统的总体方案设计 | 第34-36页 |
| ·微进给系统的驱动原理 | 第36-38页 |
| ·微进给机构的关键部件设计 | 第38-50页 |
| ·可调预压装置的设计 | 第38-44页 |
| ·空气静压导轨的设计与分析 | 第44-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 微进给系统的建模与仿真研究 | 第51-70页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·微进给系统的建模 | 第51-59页 |
| ·微进给系统驱动部件的建模 | 第51-53页 |
| ·微进给系统传动部件的建模 | 第53-59页 |
| ·微进给系统稳定性分析 | 第59页 |
| ·微进给系统的动力学建模及仿真分析 | 第59-69页 |
| ·微进给系统的动力学建模 | 第59-64页 |
| ·微进给系统的动态特性仿真分析 | 第64-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 微进给系统控制方法研究及仿真分析 | 第70-86页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·微进给系统的模糊控制 | 第70-81页 |
| ·模糊控制系统的组成与基本原理 | 第70-71页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第71-80页 |
| ·模糊控制系统的仿真分析 | 第80-81页 |
| ·基于变速积分的模糊控制 | 第81-85页 |
| ·减小模糊控制稳态误差的方法 | 第81-82页 |
| ·变速积分模糊控制器的设计 | 第82-84页 |
| ·变速积分模糊控制系统的仿真分析 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 大行程高精度微进给系统实验研究 | 第86-100页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·基于逆 preisach 模型的压电陶瓷控制研究 | 第86-91页 |
| ·逆 preisach 模型的建立 | 第86-89页 |
| ·基于逆 preisach 模型的压电陶瓷控制实验 | 第89-91页 |
| ·微进给系统闭环控制实验研究 | 第91-96页 |
| ·闭环控制系统的组成及控制流程 | 第91-94页 |
| ·闭环控制实验研究 | 第94-96页 |
| ·微进给系统的位移分辨率测试 | 第96页 |
| ·影响微进给系统位移精度的相关因素的实验研究 | 第96-99页 |
| ·正压力对系统位移精度影响的实验研究 | 第96-98页 |
| ·摩擦系数对系统位移精度影响的实验研究 | 第98-99页 |
| ·实验结果与仿真结果的对比分析 | 第99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 结论 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-110页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 个人简历 | 第113页 |