| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·薄膜概述 | 第9-12页 |
| ·薄膜的定义及分类 | 第9-10页 |
| ·薄膜材料的性能 | 第10-12页 |
| ·流变学简介 | 第12-14页 |
| ·流变学基本概念 | 第12页 |
| ·流变力学研究内容 | 第12-13页 |
| ·流变学的研究方法 | 第13-14页 |
| ·薄膜的流变力学性能研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文的研究目的和内容 | 第16-17页 |
| 2 实验方法与手段 | 第17-33页 |
| ·纳米压痕技术 | 第17-27页 |
| ·纳米压痕技术概述 | 第17-19页 |
| ·纳米压痕法测量薄膜流变力学性能 | 第19-27页 |
| ·实验的准备 | 第27-33页 |
| ·试样的制备 | 第27-28页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第28页 |
| ·实验设备 | 第28-33页 |
| 3 薄膜流变力学性能实验 | 第33-39页 |
| ·标准蠕变全过程曲线及其力学性能分析 | 第33-34页 |
| ·电沉积镍薄膜的蠕变实验 | 第34-36页 |
| ·电沉积镍薄膜的松弛实验 | 第36-39页 |
| 4 实验结果分析 | 第39-53页 |
| ·蠕变实验的流变模型理论分析 | 第40-44页 |
| ·Kelvin(或Voigt)模型 | 第41-42页 |
| ·Maxwell模型 | 第42-43页 |
| ·Bingham模型 | 第43页 |
| ·其他多元组合模型 | 第43-44页 |
| ·电沉积镍镀层的蠕变律 | 第44-51页 |
| ·电沉积镍镀层的蠕变积分型和微分型本构方程的实验确定 | 第46-48页 |
| ·电沉积镍镀层积分核函数的实验确定 | 第48-51页 |
| ·蠕变实验与松弛实验的等价性讨论 | 第51-53页 |
| 总结与展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 附录(攻读学位期间的主要学术成果) | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |