| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-25页 |
| ·电子封装陶瓷基片材料 | 第9-11页 |
| ·BeO陶瓷的研究进展 | 第11-17页 |
| ·BeO陶瓷晶体结构与性能 | 第11-14页 |
| ·BeO陶瓷的国内外研究概况 | 第14-15页 |
| ·BeO陶瓷的应用 | 第15-17页 |
| ·高纯BeO陶瓷成型工艺 | 第17-20页 |
| ·成型方法 | 第17-20页 |
| ·成型剂 | 第20页 |
| ·高纯BeO陶瓷烧结助剂 | 第20-21页 |
| ·烧结助剂的作用原理和添加工艺 | 第21页 |
| ·烧结助剂的研究进展 | 第21页 |
| ·高纯BeO陶瓷常压烧结 | 第21-23页 |
| ·BeO陶瓷常压烧结机理 | 第22-23页 |
| ·BeO陶瓷的烧结研究情况 | 第23页 |
| ·本文研究目的、意义及内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验方案与过程 | 第25-32页 |
| ·实验工艺流程 | 第25-26页 |
| ·样品制备 | 第26-28页 |
| ·原粉煅烧 | 第26页 |
| ·球磨 | 第26页 |
| ·过筛(1) | 第26页 |
| ·配料 | 第26页 |
| ·混料 | 第26-27页 |
| ·加入成型剂 | 第27页 |
| ·烘干 | 第27页 |
| ·过筛(2) | 第27页 |
| ·干压成型 | 第27页 |
| ·排胶 | 第27页 |
| ·烧结 | 第27-28页 |
| ·材料物理与力学性能测试 | 第28-31页 |
| ·粉体粒度和全成分分析 | 第28页 |
| ·热重分析和示差扫描量热分析(TG/DSC) | 第28页 |
| ·密度检测 | 第28-29页 |
| ·热导率检测 | 第29-30页 |
| ·热膨胀系数检测 | 第30页 |
| ·抗弯强度检测 | 第30-31页 |
| ·材料断口形貌与表面形貌分析 | 第31-32页 |
| ·金相表面形貌分析 | 第31页 |
| ·SEM断口和表面形貌分析 | 第31-32页 |
| 第三章 BeO陶瓷成型工艺研究 | 第32-49页 |
| ·BeO陶瓷成型工艺与BeO陶瓷制备中其他工艺关系的研究 | 第32-42页 |
| ·成型工艺对成型之前各工艺的要求 | 第32-38页 |
| ·成型工艺对成型之后各工艺的影响 | 第38-42页 |
| ·BeO陶瓷制备工艺的制定 | 第42页 |
| ·成型工艺对BeO陶瓷性能的影响 | 第42-47页 |
| ·压力对BeO陶瓷坯体密度的影响 | 第42-44页 |
| ·加压速度与保压时间对BeO陶瓷坯体密度的影响 | 第44-45页 |
| ·成型剂对BeO陶瓷坯体密度和断口形貌的影响 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 烧结助剂对BeO陶瓷组织和性能影响的研究 | 第49-64页 |
| ·烧结助剂选择 | 第49-52页 |
| ·添加MgO-Al_2O_3复合烧结助剂对BeO陶瓷组织与性能的影响 | 第52-56页 |
| ·实验过程 | 第52-53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-56页 |
| ·小结 | 第56页 |
| ·添加SiO_2对99%BeO陶瓷组织与性能的影响 | 第56-59页 |
| ·实验过程 | 第56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59页 |
| ·添加MgO-Al_2O_3-SiO_2复合烧结助剂对BeO陶瓷组织与性能的影响 | 第59-63页 |
| ·实验过程 | 第59-61页 |
| ·结果与讨论 | 第61-63页 |
| ·小结 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 硕士学位期间公开发表的论文 | 第70页 |
