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钙钛矿结构水热外延薄膜的非易失双极阻变特性研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第10-37页
    1.1 引言第10页
    1.2 非易失性存储器的发展及局限第10-14页
        1.2.1 只读存储器(ROM)第10-11页
        1.2.2 闪存(Flash)发展现状及面临的挑战第11-12页
        1.2.3 新型非易失性存储器模型建立第12-14页
    1.3 忆阻器的出现第14-18页
        1.3.1 理想忆阻器第14-16页
        1.3.2 广义忆阻器第16-18页
    1.4 阻变随机存储器(RRAM)第18-30页
        1.4.1 RRAM电阻转换模式第18-19页
        1.4.2 RRAM性能参数第19-20页
        1.4.3 RRAM材料体系第20-21页
            1.4.3.1 电极材料第20-21页
            1.4.3.2 介质材料第21页
        1.4.4 介质层的制备工艺概述第21-23页
        1.4.5 阻变机理第23-30页
            1.4.5.1 局域效应第23-26页
            1.4.5.2 界面效应第26-30页
    1.5 本文选题依据及研究意义第30-32页
    参考文献第32-37页
第二章 薄膜的物相及性能表征方法和仪器第37-49页
    2.1 X射线衍射仪 (XRD)第37-38页
    2.2 X射线光电子能谱分析仪 (XPS)第38-39页
    2.3 电子探针显微分析仪 (EPMA)第39-40页
    2.4 扫描电子显微镜 (SEM)第40-41页
    2.5 透射电子显微镜 (TEM)第41-42页
    2.6 原子力显微镜 (AFM)第42-44页
    2.7 超导量子干涉磁量仪 (SQUID)第44-46页
    2.8 阻变特性测试系统第46-48页
    参考文献第48-49页
第三章 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变特性研究第49-67页
    3.1 CaTiO_3薄膜的双极阻变特性的研究意义第49-50页
    3.2 CaTiO_3薄膜的水热外延制备第50-58页
        3.2.1 实验试剂介绍第50-51页
        3.2.2 CaTiO_3薄膜水热生长参数调控第51-54页
            3.2.2.1 CaTiO_3薄膜水热反应时间调节第51-52页
            3.2.2.2 CaTiO_3薄膜水热反应温度调节第52-54页
        3.2.3 CaTiO_3薄膜的物性表征第54-58页
    3.3 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3器件的双极阻变性能测试及其机理研究第58-63页
        3.3.1 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3器件的双极阻变性能测试第58-60页
        3.3.2 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3器件的双极阻变行为的机理分析第60-63页
    3.4 本章小结第63-65页
    参考文献第65-67页
第四章 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变行为研究第67-84页
    4.1 BiFeO_3在RRAM中的应用前景及研究目的第67-70页
    4.2 BiFeO_3外延薄膜的水热生长第70-75页
        4.2.1 实验药品介绍第70-71页
        4.2.2 BiFeO_3外延薄膜的水热制备及物性表征第71-75页
    4.3 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变性能测试及其机理分析第75-80页
        4.3.1 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变行为及其性能测试第75-77页
        4.3.2 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变机理分析第77-80页
    4.4 本章小结第80-82页
    参考文献第82-84页
第五章 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu双极阻变特性及其阻变机理探究第84-110页
    5.1 (CH_3NH_3)_2FeCl_4应用价值和研究目的第84-87页
    5.2 (CH_3NH_3)_2FeCl_4的制备及其物相分析第87-90页
        5.2.1 实验药品介绍第87页
        5.2.2 (CH_3NH_3)_2FeCl_4的制备过程第87-88页
        5.2.3 (CH_3NH_3)_2FeCl_4的结构表征第88-90页
    5.3 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu器件的双极阻变行为表征及其机理研究第90-99页
        5.3.1 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu的阻变行为表征第90-93页
        5.3.2 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu的双极阻变机理分析第93-99页
    5.4 本章小结第99-101页
    附录第101-107页
    参考文献第107-110页
第六章 总结与展望第110-113页
    6.1 论文工作总结第110-112页
    6.2 未来工作计划第112-113页
攻读学位期间发表的论文第113-114页
致谢第114页

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