摘要 | 第3-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第10-37页 |
1.1 引言 | 第10页 |
1.2 非易失性存储器的发展及局限 | 第10-14页 |
1.2.1 只读存储器(ROM) | 第10-11页 |
1.2.2 闪存(Flash)发展现状及面临的挑战 | 第11-12页 |
1.2.3 新型非易失性存储器模型建立 | 第12-14页 |
1.3 忆阻器的出现 | 第14-18页 |
1.3.1 理想忆阻器 | 第14-16页 |
1.3.2 广义忆阻器 | 第16-18页 |
1.4 阻变随机存储器(RRAM) | 第18-30页 |
1.4.1 RRAM电阻转换模式 | 第18-19页 |
1.4.2 RRAM性能参数 | 第19-20页 |
1.4.3 RRAM材料体系 | 第20-21页 |
1.4.3.1 电极材料 | 第20-21页 |
1.4.3.2 介质材料 | 第21页 |
1.4.4 介质层的制备工艺概述 | 第21-23页 |
1.4.5 阻变机理 | 第23-30页 |
1.4.5.1 局域效应 | 第23-26页 |
1.4.5.2 界面效应 | 第26-30页 |
1.5 本文选题依据及研究意义 | 第30-32页 |
参考文献 | 第32-37页 |
第二章 薄膜的物相及性能表征方法和仪器 | 第37-49页 |
2.1 X射线衍射仪 (XRD) | 第37-38页 |
2.2 X射线光电子能谱分析仪 (XPS) | 第38-39页 |
2.3 电子探针显微分析仪 (EPMA) | 第39-40页 |
2.4 扫描电子显微镜 (SEM) | 第40-41页 |
2.5 透射电子显微镜 (TEM) | 第41-42页 |
2.6 原子力显微镜 (AFM) | 第42-44页 |
2.7 超导量子干涉磁量仪 (SQUID) | 第44-46页 |
2.8 阻变特性测试系统 | 第46-48页 |
参考文献 | 第48-49页 |
第三章 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变特性研究 | 第49-67页 |
3.1 CaTiO_3薄膜的双极阻变特性的研究意义 | 第49-50页 |
3.2 CaTiO_3薄膜的水热外延制备 | 第50-58页 |
3.2.1 实验试剂介绍 | 第50-51页 |
3.2.2 CaTiO_3薄膜水热生长参数调控 | 第51-54页 |
3.2.2.1 CaTiO_3薄膜水热反应时间调节 | 第51-52页 |
3.2.2.2 CaTiO_3薄膜水热反应温度调节 | 第52-54页 |
3.2.3 CaTiO_3薄膜的物性表征 | 第54-58页 |
3.3 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3器件的双极阻变性能测试及其机理研究 | 第58-63页 |
3.3.1 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3器件的双极阻变性能测试 | 第58-60页 |
3.3.2 Pt/CaTiO_3/Nb:SrTiO_3器件的双极阻变行为的机理分析 | 第60-63页 |
3.4 本章小结 | 第63-65页 |
参考文献 | 第65-67页 |
第四章 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变行为研究 | 第67-84页 |
4.1 BiFeO_3在RRAM中的应用前景及研究目的 | 第67-70页 |
4.2 BiFeO_3外延薄膜的水热生长 | 第70-75页 |
4.2.1 实验药品介绍 | 第70-71页 |
4.2.2 BiFeO_3外延薄膜的水热制备及物性表征 | 第71-75页 |
4.3 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变性能测试及其机理分析 | 第75-80页 |
4.3.1 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变行为及其性能测试 | 第75-77页 |
4.3.2 Pt/BiFeO_3/Nb:SrTiO_3双极阻变机理分析 | 第77-80页 |
4.4 本章小结 | 第80-82页 |
参考文献 | 第82-84页 |
第五章 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu双极阻变特性及其阻变机理探究 | 第84-110页 |
5.1 (CH_3NH_3)_2FeCl_4应用价值和研究目的 | 第84-87页 |
5.2 (CH_3NH_3)_2FeCl_4的制备及其物相分析 | 第87-90页 |
5.2.1 实验药品介绍 | 第87页 |
5.2.2 (CH_3NH_3)_2FeCl_4的制备过程 | 第87-88页 |
5.2.3 (CH_3NH_3)_2FeCl_4的结构表征 | 第88-90页 |
5.3 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu器件的双极阻变行为表征及其机理研究 | 第90-99页 |
5.3.1 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu的阻变行为表征 | 第90-93页 |
5.3.2 Ag/(CH_3NH_3)_2FeCl_4/Cu的双极阻变机理分析 | 第93-99页 |
5.4 本章小结 | 第99-101页 |
附录 | 第101-107页 |
参考文献 | 第107-110页 |
第六章 总结与展望 | 第110-113页 |
6.1 论文工作总结 | 第110-112页 |
6.2 未来工作计划 | 第112-113页 |
攻读学位期间发表的论文 | 第113-114页 |
致谢 | 第114页 |