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磁记录薄膜材料微观结构与织构演变机理的研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-9页
1 引言第13-15页
2 文献综述第15-39页
    2.1 磁记录硬盘及其工作原理第15-17页
    2.2 磁记录材料的发展第17-18页
        2.2.1 高密度和超高密度读出磁头第17页
        2.2.2 磁记录介质第17-18页
    2.3 超高密度磁记录对材料性能的要求第18-21页
        2.3.1 巨磁电阻的发现第20页
        2.3.2 巨磁电阻效应的原理第20-21页
    2.4 巨磁电阻材料的分类第21-25页
    2.5 微观结构和织构演变对GMR效应的影响第25-33页
        2.5.1 缓冲层对薄膜GMR效应的影响第25-26页
        2.5.2 粗糙度对薄膜GMR效应的影响第26-28页
        2.5.3 织构演变对GMR效应的影响第28-31页
        2.5.4 热稳定性对薄膜GMR效应的影响第31-33页
    2.6 记录介质薄膜微观结构和织构演变对性能的影响第33-39页
        2.6.1 引入底层促进有序化转变第35-36页
        2.6.2 引入掺杂元素促进有序化转变第36-37页
        2.6.3 优化Fe/Pt多层膜结构促进有序化转变第37-39页
3 课题背景及意义第39-41页
    3.1 课题来源第39页
    3.2 课题背景和意义第39-41页
4 研究内容与方法第41-46页
    4.1 研究内容第41-42页
    4.2 研究方法第42-46页
        4.2.1 薄膜制备第42页
        4.2.2 薄膜的微观结构与织构表征第42-44页
        4.2.3 第一性原理计算第44-46页
5 缓冲层对Cu薄膜中微观结构和织构演变的影响第46-70页
    5.1 金属缓冲层对Cu薄膜中微观结构和织构的影响第46-62页
        5.1.1 实验方法第46-47页
        5.1.2 金属缓冲层对Cu薄膜中微观结构变化的影响第47-51页
        5.1.3 金属缓冲层对Cu薄膜中织构演变的影响第51-57页
        5.1.4 金属缓冲层的热稳定性第57-62页
    5.2 高熵合金缓冲层对Cu薄膜中微观结构和织构的影响第62-68页
        5.2.1 实验方法第63页
        5.2.2 高熵合金缓冲层对Cu薄膜微观结构的影响第63-66页
        5.2.3 高熵合金缓冲层对Cu薄膜织构演变的影响第66-68页
    5.3 小结第68-70页
6 溅射沉积状态对Cu薄膜微观结构及织构的影响第70-85页
    6.1 实验方法第70-71页
    6.2 溅射沉积功率对Cu薄膜微观结构和织构的影响第71-76页
    6.3 溅射沉积厚度对Cu薄膜微观结构和织构的影响第76-83页
    6.4 小结第83-85页
7 表面能和应变能对Cu薄膜织构演变的影响机理第85-101页
    7.1 表面能对Cu薄膜中织构演变的影响第85-90页
        7.1.1 Cu的表面能计算第85-86页
        7.1.2 Fe的表面能计算第86-87页
        7.1.3 Ti的表面能计算第87-88页
        7.1.4 Ta的表面能计算第88-90页
    7.2 弹性应变能对Cu薄膜中织构演变的影响第90-96页
        7.2.1 薄膜材料中弹性应变能的产生第90-91页
        7.2.2 薄膜材料中弹性应变能对织构演变的影响第91-96页
    7.3 塑性应变能对Cu薄膜中织构演变的影响第96-99页
        7.3.1 薄膜材料中塑性应变能的产生第96页
        7.3.2 薄膜材料中塑性应变能对织构演变的影响第96-99页
    7.4 小结第99-101页
8 磁记录薄膜中的微观结构和织构演变第101-120页
    8.1 巨磁电阻CuCo薄膜的微观结构和织构演变第101-116页
        8.1.1 缓冲层Ta对Cu/Co多层膜微观结构和织构的影响第101-107页
        8.1.2 缓冲层Ti对Cu/Co多层膜微观结构和织构的影响第107-113页
        8.1.3 CuCo颗粒膜的微观结构及织构第113-116页
    8.2 垂直磁记录FePt薄膜的微观结构和织构演变第116-119页
        8.2.1 溅射功率对FePt薄膜微观结构和织构的影响第116-117页
        8.2.2 Cu插入层对FePt薄膜织构的影响第117-119页
    8.3 小结第119-120页
9 结论第120-122页
主要创新点第122-123页
参考文献第123-135页
作者简历及在学研究成果第135-139页
学位论文数据集第139页

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