致谢 | 第4-5页 |
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
1 引言 | 第13-15页 |
2 文献综述 | 第15-39页 |
2.1 磁记录硬盘及其工作原理 | 第15-17页 |
2.2 磁记录材料的发展 | 第17-18页 |
2.2.1 高密度和超高密度读出磁头 | 第17页 |
2.2.2 磁记录介质 | 第17-18页 |
2.3 超高密度磁记录对材料性能的要求 | 第18-21页 |
2.3.1 巨磁电阻的发现 | 第20页 |
2.3.2 巨磁电阻效应的原理 | 第20-21页 |
2.4 巨磁电阻材料的分类 | 第21-25页 |
2.5 微观结构和织构演变对GMR效应的影响 | 第25-33页 |
2.5.1 缓冲层对薄膜GMR效应的影响 | 第25-26页 |
2.5.2 粗糙度对薄膜GMR效应的影响 | 第26-28页 |
2.5.3 织构演变对GMR效应的影响 | 第28-31页 |
2.5.4 热稳定性对薄膜GMR效应的影响 | 第31-33页 |
2.6 记录介质薄膜微观结构和织构演变对性能的影响 | 第33-39页 |
2.6.1 引入底层促进有序化转变 | 第35-36页 |
2.6.2 引入掺杂元素促进有序化转变 | 第36-37页 |
2.6.3 优化Fe/Pt多层膜结构促进有序化转变 | 第37-39页 |
3 课题背景及意义 | 第39-41页 |
3.1 课题来源 | 第39页 |
3.2 课题背景和意义 | 第39-41页 |
4 研究内容与方法 | 第41-46页 |
4.1 研究内容 | 第41-42页 |
4.2 研究方法 | 第42-46页 |
4.2.1 薄膜制备 | 第42页 |
4.2.2 薄膜的微观结构与织构表征 | 第42-44页 |
4.2.3 第一性原理计算 | 第44-46页 |
5 缓冲层对Cu薄膜中微观结构和织构演变的影响 | 第46-70页 |
5.1 金属缓冲层对Cu薄膜中微观结构和织构的影响 | 第46-62页 |
5.1.1 实验方法 | 第46-47页 |
5.1.2 金属缓冲层对Cu薄膜中微观结构变化的影响 | 第47-51页 |
5.1.3 金属缓冲层对Cu薄膜中织构演变的影响 | 第51-57页 |
5.1.4 金属缓冲层的热稳定性 | 第57-62页 |
5.2 高熵合金缓冲层对Cu薄膜中微观结构和织构的影响 | 第62-68页 |
5.2.1 实验方法 | 第63页 |
5.2.2 高熵合金缓冲层对Cu薄膜微观结构的影响 | 第63-66页 |
5.2.3 高熵合金缓冲层对Cu薄膜织构演变的影响 | 第66-68页 |
5.3 小结 | 第68-70页 |
6 溅射沉积状态对Cu薄膜微观结构及织构的影响 | 第70-85页 |
6.1 实验方法 | 第70-71页 |
6.2 溅射沉积功率对Cu薄膜微观结构和织构的影响 | 第71-76页 |
6.3 溅射沉积厚度对Cu薄膜微观结构和织构的影响 | 第76-83页 |
6.4 小结 | 第83-85页 |
7 表面能和应变能对Cu薄膜织构演变的影响机理 | 第85-101页 |
7.1 表面能对Cu薄膜中织构演变的影响 | 第85-90页 |
7.1.1 Cu的表面能计算 | 第85-86页 |
7.1.2 Fe的表面能计算 | 第86-87页 |
7.1.3 Ti的表面能计算 | 第87-88页 |
7.1.4 Ta的表面能计算 | 第88-90页 |
7.2 弹性应变能对Cu薄膜中织构演变的影响 | 第90-96页 |
7.2.1 薄膜材料中弹性应变能的产生 | 第90-91页 |
7.2.2 薄膜材料中弹性应变能对织构演变的影响 | 第91-96页 |
7.3 塑性应变能对Cu薄膜中织构演变的影响 | 第96-99页 |
7.3.1 薄膜材料中塑性应变能的产生 | 第96页 |
7.3.2 薄膜材料中塑性应变能对织构演变的影响 | 第96-99页 |
7.4 小结 | 第99-101页 |
8 磁记录薄膜中的微观结构和织构演变 | 第101-120页 |
8.1 巨磁电阻CuCo薄膜的微观结构和织构演变 | 第101-116页 |
8.1.1 缓冲层Ta对Cu/Co多层膜微观结构和织构的影响 | 第101-107页 |
8.1.2 缓冲层Ti对Cu/Co多层膜微观结构和织构的影响 | 第107-113页 |
8.1.3 CuCo颗粒膜的微观结构及织构 | 第113-116页 |
8.2 垂直磁记录FePt薄膜的微观结构和织构演变 | 第116-119页 |
8.2.1 溅射功率对FePt薄膜微观结构和织构的影响 | 第116-117页 |
8.2.2 Cu插入层对FePt薄膜织构的影响 | 第117-119页 |
8.3 小结 | 第119-120页 |
9 结论 | 第120-122页 |
主要创新点 | 第122-123页 |
参考文献 | 第123-135页 |
作者简历及在学研究成果 | 第135-139页 |
学位论文数据集 | 第139页 |