多晶硅飞秒激光作用下不同晶面的行为特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 激光材料加工晶体取向的影响 | 第10-14页 |
| 1.2.1 激光熔覆 | 第10-11页 |
| 1.2.2 激光增材制造 | 第11-12页 |
| 1.2.3 激光焊接 | 第12-13页 |
| 1.2.4 脉冲激光沉积 | 第13-14页 |
| 1.3 超快激光加工国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 实验条件及方法 | 第19-27页 |
| 2.1 实验材料 | 第19页 |
| 2.2 实验设备 | 第19-20页 |
| 2.3 实验方法 | 第20-27页 |
| 2.3.1 多晶硅EBSD样品制备方法 | 第20-22页 |
| 2.3.2 飞秒激光辐照实验 | 第22页 |
| 2.3.3 表征方法—EBSD | 第22-23页 |
| 2.3.4 光斑大小的理论计算 | 第23-27页 |
| 第3章 多晶硅在飞秒激光作用下的非晶化行为 | 第27-43页 |
| 3.1 飞秒激光作用区表征 | 第27-31页 |
| 3.1.1 飞秒激光作用区成分分析 | 第27-30页 |
| 3.1.2 飞秒激光作用区区域划分 | 第30-31页 |
| 3.2 多晶硅激光作用区的EBSD表征 | 第31-33页 |
| 3.3 飞秒激光作用下多晶硅的响应阈值 | 第33-36页 |
| 3.4 不同晶面取向对飞秒激光的响应 | 第36-38页 |
| 3.5 不同晶面取向对飞秒激光的响应机制分析 | 第38-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 飞秒激光诱导多晶硅形变 | 第43-49页 |
| 4.1 飞秒激光作用材料时热应力产生机制 | 第43页 |
| 4.2 飞秒激光作用区形变分析 | 第43-46页 |
| 4.3 飞秒激光作用下多晶硅不同晶面取向形变差异 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 硅在飞秒激光作用下的双温模拟 | 第49-57页 |
| 5.1 引言 | 第49-50页 |
| 5.2 物理模型的建立与计算模型的建立 | 第50-55页 |
| 5.2.1 激光作用材料表面的吸收机制 | 第50-51页 |
| 5.2.2 双温模型 | 第51-52页 |
| 5.2.3 双温模型计算结果 | 第52-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论及展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-67页 |
| 攻读学位期间的学术成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
