| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 层状复合材料磁电耦合产生机理 | 第11-12页 |
| 1.3 压电材料PZT和磁致伸缩材料CoNi | 第12-14页 |
| 1.4 磁电复合材料的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.5 薄膜的制备方法及表征手段 | 第16-21页 |
| 1.6 本论文的意义及主要内容 | 第21-22页 |
| 2 CoNi/PZT层状复合结构的磁电效应解析 | 第22-35页 |
| 2.1 CoNi/PZT/CoNi对称层状结构DME模型 | 第22-26页 |
| 2.2 磁电耦合系数的求解表达式 | 第26-27页 |
| 2.3 磁电耦合系数的仿真分析 | 第27-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 PZT薄膜的制备与压电性能表征 | 第35-51页 |
| 3.1 磁控溅射仪介绍 | 第35-36页 |
| 3.2 PZT薄膜基本溅射工艺 | 第36-39页 |
| 3.3 退火温度对PZT薄膜微观结构的影响 | 第39-43页 |
| 3.4 PZT薄膜的压电性能表征与分析 | 第43-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 CoNi/PZT复合薄膜的制备与性能表征 | 第51-59页 |
| 4.1 CoNi薄膜的制备及表征 | 第51-54页 |
| 4.2 CoNi/PZT复合薄膜的制备与表征 | 第54-55页 |
| 4.3 CoNi/PZT复合薄膜的磁电耦合作用 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 总结与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |