| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 实验基础 | 第18-26页 |
| 2.1 实验材料及实验准备 | 第18-20页 |
| 2.2 实验设备装置 | 第20-23页 |
| 2.2.1 激光加工实验设备 | 第20页 |
| 2.2.2 实验材料处理及测量仪器 | 第20-22页 |
| 2.2.3 加工平台改造装置 | 第22-23页 |
| 2.3 实验研究方法 | 第23-25页 |
| 2.3.1 皮秒激光精细加工基本实验方法 | 第23-24页 |
| 2.3.2 柱状工件加工实验方案 | 第24-25页 |
| 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 皮秒激光加工平面氮化铝陶瓷的实验研究 | 第26-44页 |
| 3.1 皮秒激光加工氮化铝陶瓷的激光参数 | 第26-36页 |
| 3.1.1 激光能量效率和能量分布 | 第26-29页 |
| 3.1.2 皮秒激光烧蚀机理 | 第29-31页 |
| 3.1.3 皮秒激光加工参数实验 | 第31-36页 |
| 3.2 皮秒激光加工AlN陶瓷的加工策略及加工参数 | 第36-42页 |
| 3.2.1 皮秒激光烧蚀去除的加工策略和加工路径 | 第36-39页 |
| 3.2.2 皮秒激光烧蚀去除氮化铝陶瓷的参数 | 第39-42页 |
| 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 柱状工件加工的实验研究 | 第44-54页 |
| 4.1 柱状工件的加工夹具设计 | 第44-47页 |
| 4.1.1 柱状工件曲面加工的设计思路 | 第44-45页 |
| 4.1.2 柱状工件曲面加工的夹具设计 | 第45-47页 |
| 4.2 加工夹具的控制 | 第47-51页 |
| 4.2.1 控制软件 | 第47-49页 |
| 4.2.2 控制模式 | 第49-50页 |
| 4.2.3 控制参数 | 第50-51页 |
| 4.3 工件安装及校准 | 第51-53页 |
| 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 陶瓷柱状构件的皮秒激光精细加工 | 第54-66页 |
| 5.1 微直齿轮的皮秒激光精细加工 | 第54-58页 |
| 5.2 微斜齿轮的皮秒激光精细加工 | 第58-63页 |
| 本章小结 | 第63-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文与专利申请 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |