| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 聚合物表面金属图形化 | 第7-10页 |
| 1.2 沉积金属薄膜的方法 | 第10-11页 |
| 1.3 沉积在聚合物上的金属薄膜缺陷问题的研究 | 第11-13页 |
| 1.4 课题的提出与本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 1.4.1 课题的提出 | 第13-14页 |
| 1.4.2 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 PMMA基片上金薄膜缺陷的特征研究 | 第15-23页 |
| 2.1 PMMA基片的金属图形化 | 第15-18页 |
| 2.1.1 PMMA基片上金属图形化的方法 | 第15-17页 |
| 2.1.2 PMMA基片上金属薄膜表面形貌 | 第17-18页 |
| 2.2 PMMA基片上金薄膜缺陷的特征研究 | 第18-22页 |
| 2.2.1 光学显微镜观测 | 第19页 |
| 2.2.2 共聚焦显微镜观测 | 第19-21页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜观测 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 PMMA基片上金薄膜缺陷的产生机理 | 第23-41页 |
| 3.1 PMMA基片的性能测试 | 第23-29页 |
| 3.1.1 PMMA的玻璃化转变温度测试 | 第23-24页 |
| 3.1.2 PMMA的表面硬度测试 | 第24-27页 |
| 3.1.3 PMMA的热稳定性测试 | 第27-29页 |
| 3.2 溅射成膜过程粒子能量理论计算 | 第29-33页 |
| 3.2.1 溅射粒子的初始能量 | 第30-31页 |
| 3.2.2 溅射粒子轰击PMMA基片的能量 | 第31-32页 |
| 3.2.3 金薄膜的形成 | 第32-33页 |
| 3.3 PMMA基片上金薄膜缺陷的产生机理 | 第33-39页 |
| 3.3.1 去除金薄膜后PMMA基片表面形貌 | 第33-35页 |
| 3.3.2 PMMA基片上缺陷处的Raman光谱分析 | 第35-36页 |
| 3.3.3 缺陷产生机理分析 | 第36-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 4 溅射参数对金薄膜缺陷的影响 | 第41-48页 |
| 4.1 实验样片的设计 | 第41页 |
| 4.2 溅射参数对缺陷的影响 | 第41-46页 |
| 4.2.1 溅射功率对缺陷的影响 | 第42页 |
| 4.2.2 溅射气压对缺陷的影响 | 第42-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |