基于双光栅干涉的三维位移测量技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外光栅位移测量的研究现状分析 | 第11-20页 |
| 1.2.1 国外光栅位移测量的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.2 国内光栅位移测量的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.3 光栅位移测量的研究现状分析 | 第19-20页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 光栅衍射特性分析 | 第22-36页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 矢量衍射理论 | 第22-23页 |
| 2.3 一维矩形光栅衍射特性求解 | 第23-27页 |
| 2.3.1 建立各区域电磁场表达式 | 第24-25页 |
| 2.3.2 建立耦合波方程组 | 第25-26页 |
| 2.3.3 利用边界条件求解 | 第26-27页 |
| 2.4 二维矩形光栅衍射特性求解 | 第27-32页 |
| 2.4.1 建立各区域电磁场表达式 | 第28-29页 |
| 2.4.2 建立耦合波方程 | 第29-30页 |
| 2.4.3 利用边界条件求解 | 第30-32页 |
| 2.5 仿真分析 | 第32-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 测量系统光学结构设计与分析 | 第36-50页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 光学结构设计 | 第36-41页 |
| 3.2.1 X向和Y向光学结构设计 | 第37-39页 |
| 3.2.2 Z向光学结构设计 | 第39-40页 |
| 3.2.3 整体光学结构 | 第40-41页 |
| 3.3 各方向干涉信号分析 | 第41-48页 |
| 3.3.1 X向和Y向干涉信号分析 | 第41-47页 |
| 3.3.2 Z向干涉信号分析 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 测量系统硬件设计 | 第50-63页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 光栅结构参数设计 | 第50-57页 |
| 4.2.1 扫描光栅参数设计 | 第50-54页 |
| 4.2.2 标尺光栅参数设计 | 第54-56页 |
| 4.2.3 光栅加工尺寸设计 | 第56-57页 |
| 4.3 硬件检测电路设计 | 第57-60页 |
| 4.3.1 光电检测电路设计 | 第58-60页 |
| 4.3.2 信号调理电路设计 | 第60页 |
| 4.4 辅助机械元件设计 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 测量系统实验与分析 | 第63-71页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 光栅衍射实验 | 第63-64页 |
| 5.2.1 扫描光栅的衍射分析 | 第63-64页 |
| 5.2.2 标尺光栅的衍射分析 | 第64页 |
| 5.3 测量系统性能实验 | 第64-70页 |
| 5.3.1 测量系统实验平台的搭建 | 第64-66页 |
| 5.3.2 X向和Y向原理验证实验 | 第66-69页 |
| 5.3.3 Z向原理验证实验 | 第69-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
