工业型扫描探针显微平台样品粗定位技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 工业型扫描探针显微镜的研究意义 | 第11-13页 |
| 1.3 粗定位技术的研究状况 | 第13-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 工业SPM系统及粗定位系统设计 | 第16-23页 |
| 2.1 工业SPM总体设计 | 第16-21页 |
| 2.1.1 工业SPM平台结构设计 | 第16-17页 |
| 2.1.2 工业SPM工作流程 | 第17-18页 |
| 2.1.3 电机重复定位精度的标定 | 第18-21页 |
| 2.2 粗定位系统设计 | 第21-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 自动聚焦技术研究 | 第23-32页 |
| 3.1 聚焦评价算子的选定 | 第23-28页 |
| 3.1.1 聚焦评价算法理论分析 | 第23-24页 |
| 3.1.2 聚焦评价算法性能比较 | 第24-26页 |
| 3.1.3 实验结果分析 | 第26-28页 |
| 3.2 改进的爬坡式焦点搜索策略 | 第28-30页 |
| 3.2.1 爬坡算法 | 第28页 |
| 3.2.2 改进的变步长爬坡策略 | 第28-30页 |
| 3.3 聚焦实验结果及分析 | 第30-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 图像匹配技术研究 | 第32-43页 |
| 4.1 图像匹配算法理论分析 | 第32-40页 |
| 4.1.1 SIFT算法的原理与实现步骤 | 第32-36页 |
| 4.1.2 SURF算法的原理与实现步骤 | 第36-39页 |
| 4.1.3 SIFT算法与SURF算法的比较 | 第39-40页 |
| 4.2 图像匹配的实现 | 第40-42页 |
| 4.2.1 匹配原理 | 第40-41页 |
| 4.2.2 双向匹配 | 第41-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 粗定位的实现 | 第43-50页 |
| 5.1 系统坐标系的建立 | 第43-44页 |
| 5.2 定位实验方法的讨论 | 第44-47页 |
| 5.2.1 模板的选择 | 第44-45页 |
| 5.2.2 像素当量的标定 | 第45-46页 |
| 5.2.3 测头间距离的标定 | 第46页 |
| 5.2.4 标记与待测区距离的标定 | 第46-47页 |
| 5.3 标记的定位 | 第47-49页 |
| 5.3.1 角度偏差的确定 | 第47-48页 |
| 5.3.2 空间位置偏移量的确定 | 第48-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 定位实验结果及分析 | 第50-57页 |
| 6.1 定位软件的设计 | 第50-52页 |
| 6.2 定位实验 | 第52-55页 |
| 6.3 误差分析 | 第55-56页 |
| 6.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第七章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 7.1 工作总结 | 第57页 |
| 7.2 工作展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
