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透明导电铟锌氧薄膜的制备及光电性质研究

中文摘要第3-4页
英文摘要第4-5页
目录第6-7页
第1章 绪论第7-11页
    1.1 透明导电薄膜的研究进展第7-9页
    1.2 论文的选题依据第9-10页
    1.3 论文的研究目的第10页
    1.4 论文的内容安排第10-11页
第2章 InZnO(IZO)透明导电薄膜材料的制备与表征方法第11-19页
    2.1 薄膜的制备方法第11-13页
        2.1.1 脉冲激光沉积法(PLD)第11-12页
        2.1.2 磁控溅射法(Magnetic sputtering)第12-13页
        2.1.3 溶胶-凝胶法(Sol-gel)第13页
    2.2 薄膜的表征第13-19页
        2.2.1 微观结构的表征第14-16页
        2.2.2 电学性质的表征第16-17页
        2.2.3 光学性质的表征第17-19页
第3章 IZO 透明导电薄膜电学输运性质的研究第19-30页
    3.1 实验部分第19-20页
    3.2 结构特性第20-22页
    3.3 电学特性第22-26页
    3.4 光学特性第26-28页
    3.5 本章小结第28-30页
第4章 激光辅助溶胶凝胶方法制备 IZO 薄膜的探索第30-37页
    4.1 实验部分第30-31页
    4.2 结构特性第31-33页
    4.3 电学特性第33-35页
    4.4 光学特性第35-36页
    4.5 本章小结第36-37页
总结第37-39页
参考文献第39-43页
致谢第43页

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