中文摘要 | 第3-4页 |
英文摘要 | 第4-5页 |
目录 | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第7-11页 |
1.1 透明导电薄膜的研究进展 | 第7-9页 |
1.2 论文的选题依据 | 第9-10页 |
1.3 论文的研究目的 | 第10页 |
1.4 论文的内容安排 | 第10-11页 |
第2章 InZnO(IZO)透明导电薄膜材料的制备与表征方法 | 第11-19页 |
2.1 薄膜的制备方法 | 第11-13页 |
2.1.1 脉冲激光沉积法(PLD) | 第11-12页 |
2.1.2 磁控溅射法(Magnetic sputtering) | 第12-13页 |
2.1.3 溶胶-凝胶法(Sol-gel) | 第13页 |
2.2 薄膜的表征 | 第13-19页 |
2.2.1 微观结构的表征 | 第14-16页 |
2.2.2 电学性质的表征 | 第16-17页 |
2.2.3 光学性质的表征 | 第17-19页 |
第3章 IZO 透明导电薄膜电学输运性质的研究 | 第19-30页 |
3.1 实验部分 | 第19-20页 |
3.2 结构特性 | 第20-22页 |
3.3 电学特性 | 第22-26页 |
3.4 光学特性 | 第26-28页 |
3.5 本章小结 | 第28-30页 |
第4章 激光辅助溶胶凝胶方法制备 IZO 薄膜的探索 | 第30-37页 |
4.1 实验部分 | 第30-31页 |
4.2 结构特性 | 第31-33页 |
4.3 电学特性 | 第33-35页 |
4.4 光学特性 | 第35-36页 |
4.5 本章小结 | 第36-37页 |
总结 | 第37-39页 |
参考文献 | 第39-43页 |
致谢 | 第43页 |