| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 微机械电子系统的发展与应用 | 第10-12页 |
| 1.2 微静电驱动系统非线性动力分析及控制的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容、目的及意义 | 第14-15页 |
| 第2章 常见谐振式微静电驱动系统的建模 | 第15-30页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 常见的谐振式微静电驱动机构 | 第15-16页 |
| 2.3 双端固谐振式微静电驱动系统的分析 | 第16-19页 |
| 2.3.1 双端固谐振式微静电驱动力学分析方程的推导 | 第17-18页 |
| 2.3.2 压膜阻尼系数的推导 | 第18-19页 |
| 2.4 双端固谐振式微静电驱动系统的建模 | 第19-23页 |
| 2.4.1 双端固可动极板谐振式微静电驱动系统建模 | 第19-21页 |
| 2.4.2 双端固横直梁谐振式微静电驱动系统建模 | 第21-23页 |
| 2.5 谐振式微静电驱动系统“吸附”效应及分析 | 第23-28页 |
| 2.5.1 “吸附”效应分析 | 第24-26页 |
| 2.5.2 谐振式微静电驱动系统“吸附”电压求解 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 谐振式微静电驱动系统非线性特性分析 | 第30-49页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 静电刚度及其分析 | 第30-32页 |
| 3.3 外加电压对谐振式微静电驱动系统非线性的影响 | 第32-46页 |
| 3.3.1 交流电压频率与系统的非线性特性 | 第34-36页 |
| 3.3.2 交流电压幅值与系统的非线性特性 | 第36-40页 |
| 3.3.3 直流偏置电压幅值与系统的非线性特性 | 第40-46页 |
| 3.4 静电刚度与谐振式微静电驱动系统非线性特性 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 谐振式微静电驱动系统混沌运动的控制 | 第49-59页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 谐振式微静电驱动系统混沌的变量反馈控制 | 第49-53页 |
| 4.3 谐振式微静电驱动系统混沌的电压反馈控制 | 第53-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 总结与展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士期间发表的论文与科研成果 | 第65页 |
