| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 压阻式加速度传感器研究现状 | 第9-27页 |
| 1.1.1 压阻式加速度传感器研究现状 | 第10-19页 |
| 1.1.2 压阻式加速度传感器国外研究 | 第19-27页 |
| 1.2 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器研究目的和意义 | 第27-28页 |
| 1.2.1 研究目的 | 第27页 |
| 1.2.2 研究意义 | 第27-28页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第28-29页 |
| 第2章 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器基本结构与工作原理 | 第29-41页 |
| 2.1 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器基本结构 | 第29-30页 |
| 2.2 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器工作原理 | 第30-40页 |
| 2.2.1 硅悬臂梁弹性元件力学分析 | 第30-31页 |
| 2.2.2 压阻效应 | 第31-33页 |
| 2.2.3 纳米硅薄膜晶体管工作原理 | 第33-36页 |
| 2.2.4 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器工作原理 | 第36-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器仿真研究 | 第41-51页 |
| 3.1 ANSYS 有限元分析软件 | 第41页 |
| 3.2 加速度传感器特性分析 | 第41-50页 |
| 3.2.1 仿真模型构建 | 第41-44页 |
| 3.2.2 静态特性分析 | 第44-47页 |
| 3.2.3 模态分析 | 第47-49页 |
| 3.2.4 谐响应特性分析 | 第49-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器芯片设计、制作与封装 | 第51-57页 |
| 4.1 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器芯片设计 | 第51-52页 |
| 4.2 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器工艺制作 | 第52-54页 |
| 4.3 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器芯片封装 | 第54-56页 |
| 4.3.1 硼硅玻璃片制作 | 第54-55页 |
| 4.3.2 芯片封装 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第57-71页 |
| 5.1 纳米硅薄膜特性 | 第57-59页 |
| 5.1.1 纳米硅薄膜制备 | 第57页 |
| 5.1.2 XRD 测试 | 第57-58页 |
| 5.1.3 AFM 表征 | 第58-59页 |
| 5.2 纳米硅薄膜晶体管 IDS-VDS特性 | 第59-61页 |
| 5.3 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器动态特性 | 第61-68页 |
| 5.3.1 悬臂梁厚度对固有频率的影响 | 第62-66页 |
| 5.3.2 质量块质量对固有频率的影响 | 第66-68页 |
| 5.4 纳米硅薄膜晶体管加速度传感器灵敏度特性 | 第68-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第81页 |
| 攻读学位期间科研项目 | 第81页 |
